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基于变折扣因子EWMA的混合产品批间控制方法被引量：2: 2009年; 批间(run-to-run,简称R2R)控制现今已被广泛用于半导体生产行业.指数加权移动平均(exponet weighted moving average,EWMA)是R2R控制的一种重要算法.折扣因子是EWMA控制期的主要参数.本文在模型中考虑了实际生产过程中混合产品少量多样的特点,引入了基于产品的变折扣因子EWMA控制算法,解决了产品切换时制程输出收敛速度过慢的问题.变折扣因子的引入提高了制程输出的响应速率而并不影响制程输出的稳定性.对实际过程的模拟仿真检验了该控制算法的可行性和优越性.; 侯明阳郑英艾兵郑燕张杰

压电谐振式结冰传感器的结冰试验和数据处理被引量：4: 2011年; 本文介绍了压电谐振式结冰传感器的实验平台和结冰试验过程,并利用支持向量机非线性回归模型对有限的实验数据进行处理。结果表明,该方法能有效地依据少量的试验数据较精确地预测其他冰厚对应的谐振频率,实现冰厚测量的标定。; 郑燕郑英张杰叶林张洪; 关键词：结冰试验支持向量机

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郑燕