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基于交变磁场的平面二维时栅位移传感机理及测量模型: 2024年; 针对传统的平面二维位移传感器在超精密光刻、大面积传感器制造中存在的技术瓶颈,提出一种基于空间交变磁场的平面二维位移测量方法。在定尺平面布置均匀等间距的正弦/余弦激励绕组,施加时间正交激励电流,构建空间二维交变磁场,建立空间二维位移和时间基准的映射关系。通过“维度判断+位移解耦”的组合测量模型实现平面二维位移测量,利用动尺维度判断感应绕组阵列输出信号经二值化后的组合逻辑来判断维度;利用动尺两维差动布置的位移感应绕组阵列拾取交变磁场,得到空间位移行波信号,通过比相实现二维位移解耦。通过电磁仿真,对平面二维时栅位移测量模型进行误差分析。研制样机并搭建了实验平台,实验结果表明,传感器在120 mm×120 mm的有效测量范围内,X方向测量误差最大不超过±9.4μm,Y方向测量误差最大不超过±9.7μm,两维度位移测量分辨力为0.15μm。利用毫米级尺寸的激励和感应绕组实现平面二维微米级测量精度,从原理上突破了传统平面二维位移传感器对超精密光刻的制约,降低了传感器加工难度,具有重要的理论研究意义和工程应用价值。; 陈自然欧阳辉张桁潇彭凯彭凯崔南川; 关键词：交变磁场时栅传感器

基于小波变换与LabVIEW的时栅信号采集分析系统设计被引量：5: 2019年; 针对时栅信号处理系统存在软件编程复杂、系统研发周期长等问题,搭建了一套基于LabVIEW虚拟仪器平台的时栅信号采集分析系统,通过模块化建模,将信号采集、数据处理、结果显示与保存集成于同一个上位机程序中,由硬件触发方式实现定点采样,并使用小波变换进行降噪处理,以消除原始信号的零位偏移现象。以72对极的磁场式时栅为测试对象,进行了验证工作,结果表明该系统可以在实验转台的转速为8 r/min时实现将整周误差峰峰值降为3.43″的传感器输出采样。; 赵勇图彭东林郑永王伟王伟; 关键词：LABVIEW 时栅小波变换数字信号处理虚拟仪器

基于μC/OS-Ⅱ的线切割机短路检测远程报警系统被引量：2: 2012年; 针对电火花线切割机加工高精度时栅传感器定子线圈过程中由于切割铁屑搭接造成短路故障的现象,设计了一种基于实时嵌入式操作系统μC/OS-Ⅱ的线切割机短路检测远程报警系统。该系统以单片机为控制核心,通过对电极丝之间的间隙电压进行采样来判断短路故障,并采用GSM模块以实现远程报警功能。采用实时操作系统完成了多任务设计,并使得任务间容易实现相互通信与调度,同时也提高了系统的稳定性,实践证明系统在恶劣工作环境下具有很高的可靠性和实用性。; 杨继森王伟彭东林万文略; 关键词：实时操作系统电火花线切割机短路

基于PMAC的时栅位移传感器直驱式的误差修正系统研究被引量：1: 2013年; 针对传统实验平台中的数控转台采用伺服电机作为运动部件、通过蜗轮。蜗杆传动而产生的运动速度低、动态响应差等不足,设计了一种基于可编程多轴控制卡PMAC的开放式运动控制转台实验系统。该系统以PMAC为控制核心,直驱电机作为运动部件,以高精度的光栅传感器作为反馈元件,采用谐波修正法建立传感器的误差分析模型,并采用Visual C++设计开发了整套自动控制软件。实验结果表明:实验系统速度快、可靠性高,相比传统数控转台,运动速度瓶颈得到解决,动态响应明显改善。; 杨继森王伟彭东林高忠华; 关键词：时栅位移传感器 PMAC

基于电火花线切割机床的远程报警检测系统设计被引量：1: 2011年; 电火花线切割机在加工过程中断丝、短路现象不可避免,若发生后未得到及时处理,会造成工时的大量浪费,影响加工效率;作者在对断丝、短路现象的物理特性分析基础上,提出了一种基于GSM模块的远程故障自动报警方案,在操作人员离机后,能及时收到短路和断丝的信息;设计了基于单片机的自动检测电路,编写了相应的软件程序;实验表明,该方案很好地完成了断丝、短路现象的报警,实现了线切割机床在无人值守情况的自动加工。; 郑方燕彭凯王伟王宝珠; 关键词：电火花线切割断丝短路

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王伟