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张桂铭

作品数：25 被引量：5H指数：1
供职机构：西安交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金陕西省科学技术研究发展计划项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术理学一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 21篇专利
  • 3篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 7篇自动化与计算...
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇理学
  • 1篇机械工程
  • 1篇动力工程及工...

主题

  • 16篇感器
  • 16篇传感
  • 16篇传感器
  • 10篇悬臂
  • 10篇悬臂梁
  • 7篇流体
  • 7篇流体密度
  • 6篇压阻
  • 6篇芯片
  • 6篇传感器芯片
  • 5篇密度传感器
  • 4篇压阻式
  • 4篇谐振频率
  • 4篇封装
  • 3篇单晶
  • 3篇单晶硅
  • 3篇氧化硅薄膜
  • 3篇振动
  • 3篇黏度
  • 3篇微悬臂梁

机构

  • 25篇西安交通大学
  • 2篇新疆交通职业...
  • 1篇学研究院

作者

  • 25篇张桂铭
  • 24篇赵立波
  • 23篇蒋庄德
  • 17篇赵玉龙
  • 15篇黄恩泽
  • 14篇刘志刚
  • 11篇徐龙起
  • 11篇王晓坡
  • 8篇苑国英
  • 5篇李支康
  • 5篇王久洪
  • 4篇王苑
  • 4篇郭鑫
  • 3篇宋渤

传媒

  • 2篇西安交通大学...
  • 1篇工程热物理学...

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 6篇2014
  • 6篇2013
  • 7篇2012
  • 3篇2011
  • 1篇2010
共 25 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种复合式MEMS密度传感器
本发明提供了一种复合式MEMS密度传感器，包括驱动芯片和设置于驱动芯片上的悬臂梁芯片；所述悬臂梁芯片上布置有方形螺旋线圈和惠斯通全桥；所述驱动芯片上布置有圆形螺旋线圈；圆形螺旋线圈的中心与方形螺旋线圈的中心相对。通过施加...
赵立波徐龙起黄恩泽张桂铭赵玉龙蒋庄德
一种磁激励压阻拾振式MEMS 谐振器的主动频率调谐方法
本发明提供了一种磁激励压阻拾振式MEMS谐振器的主动频率调谐方法。将所述谐振器置于匀强磁场中，当正弦交流电压施加在悬臂梁上的激励线圈上时，悬臂梁的振动通过压阻惠斯通电桥感知，压阻惠斯通电桥的输出电压为Uout；通过改变正...
赵立波张桂铭蒋庄德徐龙起赵玉龙王苑王久洪苑国英
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基于MEMS技术的同时测量流体密度、压力和温度的集成流体传感器
本发明提供了一种基于MEMS技术的同时测量流体密度、压力和温度的集成流体传感器，包括配置有空腔的基座，基座内壁设置有永磁体，集成传感器芯片与玻璃底座封装在一起后封装在基座底部，所述基座底部开设有供流体流入流出的通液孔，所...
赵立波黄恩泽张桂铭赵玉龙蒋庄德苑国英王晓坡刘志刚
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一种基于CMUT的生化传感器及其制备方法
本发明提供了一种基于CMUT的生化传感器及其制备方法，传感器自上而下依次包括：敏感识别材料层、上电极、二氧化硅薄膜、硅支柱、下电极、二氧化硅绝缘层、硅基底。本发明金属下电极与硅基底完全电隔离，取代常规基于CMUT的生化传...
赵立波李支康蒋庄德张桂铭黄恩泽郭鑫赵玉龙
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具有双惠斯通全桥结构的MEMS流体密度传感器芯片及制备方法
本发明提供了一种具有双惠斯通全桥结构的MEMS流体密度传感器芯片及制备方法，在梯形硅微悬臂梁芯片正面设置于两个关于梯形硅微悬臂梁芯片中心线对称的惠斯通全桥，其中一个惠斯通全桥位于梯形硅微悬臂梁芯片的固定端，另一个惠斯通全...
赵立波黄恩泽张桂铭蒋庄德王晓坡刘志刚
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微机械悬臂梁谐振传感器的关键技术与应用研究
本文针对电力设备、新能源发电中电流检测以及工业控制、石油勘探、内燃机等动力系统中流体密度/黏度在线测量的迫切需求，以微机械悬臂梁谐振传感器为研究对象，对传感器的基础理论、设计和优化、加工、性能测试和应用实验等方面进行了系...
张桂铭
关键词：谐振传感器流体密度
一种采用压阻式微悬臂梁在线快速测量流体密度的方法
本发明提供了一种采用压阻式微悬臂梁在线快速测量流体密度的方法，本发明不需要改变现有的装置即可实现在线测量；另外更重要的是，不需要获得悬臂梁在待测流体中的谐振频率，从而极大地节省了测量时间，为真正的在线和快速测量提供了保证...
赵立波张桂铭蒋庄德黄恩泽徐龙起赵玉龙王晓坡宋渤刘志刚
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采用磁激励谐振压阻式悬臂梁测量直流电流或直流电压的方法
本发明提供了一种采用磁激励谐振压阻式悬臂梁测量直流电流或直流电压的方法，根据直流电流或直流电压流过惠斯通电桥前后悬臂梁的频率偏移与对应的电流或直流电压之间的工作方程，即可实现直流电流或直流电压的测量。磁激励的高效性可以显...
蒋庄德张桂铭赵立波徐龙起赵玉龙王苑王久洪苑国英
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一种基于注氧隔离技术的黏度传感器芯片的制备方法
本发明提供了一种基于注氧隔离技术的黏度传感器芯片的制备方法，本发明所述芯片的硅微悬臂梁厚度具有易控制以及均匀一致性的特点，并且解决了拾振电阻压阻效应较低的问题，同时，由该芯片封装而成的传感器可以应用在高温场合下；该MEM...
赵立波张桂铭黄恩泽蒋庄德王晓坡刘志刚
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一种用于痕量生化物质检测的CMUT及其制备方法
本发明提供了一种用于痕量生化物质检测的CMUT及其制备方法，CMUT结构自上而下依次包括敏感识别材料层、作为上电极的重掺杂单晶硅层、二氧化硅绝缘层，以及二氧化硅支柱，所述二氧化硅支柱的中间部分形成有空腔，该空腔的下端被作...
赵立波李支康蒋庄德郭鑫张桂铭黄恩泽赵玉龙苑国英
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