白万青
- 作品数：6 被引量：3H指数：1
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信交通运输工程建筑科学更多>>
- 压电悬臂梁振动能量采集器及其制备方法
- 一种微机电技术领域的压电悬臂梁振动能量采集器及其制备方法，装置包括：上悬臂、下悬臂、质量块和固定装置，其中：质量块位于下悬臂上的一端，固定装置固定在下悬臂上的另一端，上悬臂设置在质量块和固定装置上且与下悬臂对称，质量块与...
- 李以贵邓勇孙健白万青杨春生刘景全
- 基于LIGA技术制作金属微针阵列被引量：3
- 2012年
- MEMS微针在生物领域中的应用日益广泛,为了方便微针刺入皮肤且减少疼痛,要求微针具有足够的强度和锐利的尖端。传统LIGA工艺只能制造出具有高深宽比的垂直侧壁结构。对传统LIGA工艺进行调整,对光刻胶PMMA进行两次曝光,并通过移动光刻胶台改变X射线的光刻方向,使两次X射线曝光方向相垂直,提出移动LIGA工艺,即移动光刻工艺。此外,利用等腰三角形作为掩膜板图案,显影之后得到截面与X射线掩膜板图案相似的三维实心PMMA微针阵列。再利用此PMMA微针阵列作为原始模具,PDMS转模形成PDMS一级模具,电镀镍得到与PMMA微针阵列相似的金属镍微针阵列。
- 白万青李以贵陈翔
- 关键词：电镀
- 静电MEMS微执行器联合装置及其加工方法
- 一种微机电系统技术领域的用于测量碳纳米管压阻特性的静电MEMS微执行器联合装置及其加工方法，包括：静电叉指微驱动器和放置碳纳米管的微型容器，其中：微型容器位于静电叉指微驱动器的下方且与静电叉指微驱动器的一端相连接，静电叉...
- 李以贵白万青陈少军孙健
- 文献传递
- 压电悬臂梁振动能量采集器及其制备方法
- 一种微机电技术领域的压电悬臂梁振动能量采集器及其制备方法，装置包括：上悬臂、下悬臂、质量块和固定装置，其中：质量块位于下悬臂上的一端，固定装置固定在下悬臂上的另一端，上悬臂设置在质量块和固定装置上且与下悬臂对称，质量块与...
- 李以贵邓勇孙健白万青杨春生刘景全
- 文献传递
- 基于移动LIGA光刻技术的微针研究
- 基于MEMS的微针技术研究是当前生物研究领域的热点。微针(Microneedles)一般指通过微细加工工艺制作的,尺寸在微米级,直径30-80μm,长度150μm以上呈针状的结构。首先微针要足够尖锐,以便刺穿皮肤的表皮,...
- 白万青
- 关键词：PDMS
- 文献传递
- 二氧化硅薄膜力学特性测试用薄膜的制备方法
- 一种微机电系统技术领域的二氧化硅薄膜力学特性测试用薄膜的制备方法，通过在硅片上依次热氧化生长一层二氧化硅薄膜并涂布一层光刻胶，然后将掩模板置于光刻胶正上方进行曝光并显影后将掩模板的图案转移到基片上，再采用电感耦合等离子刻...
- 李以贵白万青邓勇陈少军孙健
- 文献传递
