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李光北

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇地震检波器
  • 2篇电化学
  • 2篇电极
  • 2篇压力梯度
  • 2篇检波
  • 2篇检波器
  • 2篇MEMS技术
  • 2篇叉指电极
  • 1篇英文
  • 1篇谐振式加速度...
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇闭环
  • 1篇闭环控制
  • 1篇SO
  • 1篇MS

机构

  • 3篇中国科学院电...
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 3篇陈德勇
  • 3篇王军波
  • 3篇李光北
  • 2篇何文涛
  • 1篇商艳龙
  • 1篇史强

传媒

  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2013
  • 1篇2012
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
基于MEMS技术的电化学地震检波器
本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器，涉及地震检波技术，能够检测微弱地震波，是一个层状叠加结构的敏感单元密封在一个盛满电解质溶液的腔体里，敏感单元的每一层包括正面的两对共面叉指形排列的电极和背面的沟槽形绝缘...
陈德勇李光北何文涛王军波
文献传递
基于电磁激励的SOI-MEMS谐振式加速度计的闭环检测系统(英文)被引量：2
2012年
介绍了一种基于电磁激励方式,采用基于绝缘体上硅的微电子机械系统(SOI-MEMS)加工方法制作谐振式加速度计及其闭环控制电路系统.传感器芯片制作采用的是SOI材料(10μm+2μm+290μm),利用MEMS加工工艺制作.当外界z轴方向加速度作用于加速度计时,加速度计的两根"H"型谐振梁因受到弯曲应力而产生谐振频率的漂移,通过检测谐振梁频率的变化标定加速度的大小.电磁激励检测方式有利于加速度计的最终闭环控制.闭环电路控制系统主要由增益放大部分、自动增益控制(AGC)电路缓冲系统和移相器组成.测试结果显示,当有1g重力加速度作用于加速度计,闭环电路可稳定输出检测正弦频率信号58.958 kHz,与开环扫频结果一致.加速度计的"H"型谐振梁空气中检测Q值约为400,灵敏度可达584 Hz/g.
王军波商艳龙陈德勇史强李光北
关键词：闭环控制谐振式加速度计
基于MEMS技术的电化学地震检波器
本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器，涉及地震检波技术，能够检测微弱地震波，是一个层状叠加结构的敏感单元密封在一个盛满电解质溶液的腔体里，敏感单元的每一层包括正面的两对共面叉指形排列的电极和背面的沟槽形绝缘...
陈德勇李光北何文涛王军波
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