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是慧芳

作品数：2 被引量：6H指数：1
供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
发文基金：上海市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇专利

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 2篇电镀
  • 2篇微电极阵列
  • 2篇微加工
  • 1篇电镀技术
  • 1篇深孔
  • 1篇聚二甲基
  • 1篇聚二甲基硅氧...
  • 1篇甲基
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻工艺
  • 1篇二甲基
  • 1篇二甲基硅氧烷
  • 1篇PDMS
  • 1篇玻璃模具
  • 1篇POLYDI...

机构

  • 2篇复旦大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 2篇黄宜平
  • 2篇吕尊实
  • 2篇周嘉
  • 2篇是慧芳

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 2篇2008
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种三维神经微电极阵列的制作方法
本发明属于微电极微加工技术领域，具体为一种三维神经微电极阵列的制作方法。本发明利用玻璃模具、PDMS的微复制特性和电镀技术制作三维微电极阵列，用精密切割机切割玻璃形成柱状阵列，用HF和NH<Sub>4</Sub>F的混合...
吕尊实周嘉黄宜平是慧芳
文献传递
三维神经微电极阵列新制作技术研究被引量：6
2008年
尝试了一种低成本的三维微电极阵列微加工的新方法。玻璃划片形成的柱状阵列,经掩膜腐蚀后形成阳模板,再利用PDMS的微复制技术形成阴模板。利用阴模板进行电镀,可以得到三维微电极阵列。制作的铜电极阵列高度约180μm,为制作更长的神经微电极阵列打下了基础。
吕尊实周嘉黄宜平是慧芳
关键词：微加工电镀微电极阵列
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共1页<1>
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