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徐铭

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划国家科技重大专项更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 5篇感器
  • 5篇传感
  • 5篇传感器
  • 4篇圆片
  • 4篇衬底
  • 3篇形变
  • 3篇塑性
  • 3篇塑性形变
  • 2篇弹性梁
  • 2篇低温真空
  • 2篇制作方法
  • 2篇湿法
  • 2篇速度传感器
  • 2篇透镜
  • 2篇透镜设计
  • 2篇微机械
  • 2篇微机械传感器
  • 2篇微加速度传感...
  • 2篇敏感膜
  • 2篇刻蚀

机构

  • 7篇中国科学院
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 7篇徐德辉
  • 7篇熊斌
  • 7篇王跃林
  • 7篇徐铭
  • 7篇姚邵康
  • 4篇马颖蕾
  • 2篇吴国强

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 2篇2013
  • 3篇2012
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
一种差分电容微加速度传感器及其制作方法
本发明提出一种差分电容微加速度传感器及其制作方法，该方法利用体硅工艺完成可动质量块和弹性梁的制作，通过干法刻蚀完成结构制作的同时也完成器件结构的释放；可动电极与可动质量块具有相同的形状和大小，避免重复光刻，工艺大大简化；...
熊斌徐铭徐德辉姚邵康马颖蕾王跃林
一种差分电容微加速度传感器及其制作方法
本发明提出一种差分电容微加速度传感器及其制作方法，该方法利用体硅工艺完成可动质量块和弹性梁的制作，通过干法刻蚀完成结构制作的同时也完成器件结构的释放；可动电极与可动质量块具有相同的形状和大小，避免重复光刻，工艺大大简化；...
熊斌徐铭徐德辉姚邵康马颖蕾王跃林
文献传递
微透镜模具结构及其制作方法
本发明涉及微透镜模具结构及制作方法，包括以下步骤：在抛光的硅衬底正面和背面沉积氧化硅作为腐蚀掩膜材料，在硅衬底背面制作出腐蚀窗口图形；从所述硅衬底背面腐蚀硅衬底，形成腐蚀腔体，同时形成悬浮硅薄膜；将具有悬浮硅薄膜结构的结...
徐德辉熊斌姚邵康徐铭马颖蕾王跃林
文献传递
一种微机械传感器及其制作方法
本发明提供一种微机械传感器及其制作方法，采用湿法硅腐蚀技术在硅衬底中刻蚀出两倒梯形结构的深腔以及其所夹的正梯形结构的硅块，通过圆片键合技术实现敏感膜和硅块的物理连接，然后通过对硅衬底底部进行刻蚀使所述硅块底部悬空作为质量...
徐德辉熊斌姚邵康徐铭吴国强王跃林
文献传递
压阻式压力传感器微结构塑性形变及影响
2013年
由于体硅微机械工艺制作绝压压阻式压力传感器的过程中,通过Si-Si直接键合形成的带真空腔的微结构在高温和大气压的作用下会产生塑性形变,对器件制作工艺中微结构发生的塑性变形及其对器件性能的影响进行了研究。基于Von Mises屈服准则和有限元仿真,微结构发生塑性变形的临界工艺条件可以通过比较微结构的最大等效应力和材料屈服强度进行预测。在器件的制作过程中,Si-Si键合和扩散电阻条的工艺顺序不同,将会导致塑性变形对器件的影响程度也不同。实验结果表明器件塑性形变量与弹性形变量成线性正比关系;在先进行Si-Si键合后扩散电阻的情况下,器件电阻值远远偏离设计值,反之则会减小塑性变形对器件电阻值的影响。
徐铭徐德辉姚邵康熊斌王跃林
关键词：压力传感器屈服强度塑性形变压阻效应
微透镜模具结构及其制作方法
本发明涉及微透镜模具结构及制作方法，包括以下步骤：在抛光的硅衬底正面和背面沉积氧化硅作为腐蚀掩膜材料，在硅衬底背面制作出腐蚀窗口图形；从所述硅衬底背面腐蚀硅衬底，形成腐蚀腔体，同时形成悬浮硅薄膜；将具有悬浮硅薄膜结构的结...
徐德辉熊斌姚邵康徐铭马颖蕾王跃林
文献传递
一种微机械传感器及其制作方法
本发明提供一种微机械传感器及其制作方法，采用湿法硅腐蚀技术在硅衬底中刻蚀出两倒梯形结构的深腔以及其所夹的正梯形结构的硅块，通过圆片键合技术实现敏感膜和硅块的物理连接，然后通过对硅衬底底部进行刻蚀使所述硅块底部悬空作为质量...
徐德辉熊斌姚邵康徐铭吴国强王跃林
文献传递
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