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一种闭环微机械加速度计反馈方法: 本发明公开了一种闭环微机械加速度计反馈方法。本发明采用闭环微机械加速度计反馈装置，产生反馈信号和参考信号，两种信号都被调制到载波上，反馈信号和参考信号同相相加后通过高通滤波器生成左反馈差分电极电压或右反馈差分电极电压，反...; 马铭骏金仲和朱辉杰刘义东; 文献传递

基于谐振频率的微机械加速度计温度补偿方法被引量：2: 2015年; 针对硅基微机械加速度计零偏往往随温度改变而漂移的问题,设计了一种新型的温度补偿电路. 通过理论研究和实验测试,发现微机械加速度计谐振频率与温度呈现非常好的线性关系.谐振频率与表头弹性梁的弹性系数的二次方根呈正比关系,而温度对于弹性系数的影响主要有3 方面：弹性模量随温度的改变、机械热膨胀和热应力.通过Matlab 数值仿真的方法,仿真和模拟了加速度计表头固有谐振频率与温度的关系,该仿真结果与实验测试结果符合得很好.基于以上分析,提出了一种新型温度补偿电路,通过在FPGA 中设计数字锁相环模块实时检测和跟踪加速度计当前温度下的谐振频率值作为温度信号,进而补偿系统零偏输出. 结果表明：在-30～60,℃全温度范围内,补偿后系统温漂峰峰值由初始的541.8,mg 降低到46.0,mg,满足了工程应用需求.; 刘义冬刘杰朱辉杰李丹金仲和; 关键词：加速度计谐振频率温度补偿

基于栅结构谐振器的x和y轴加速度及z轴角速度的组合测量（英文）: 2013年; 本文利用一由两个相互垂直的加速度计组成的栅结构谐振器来同时测量x轴和y轴的加速度以及z轴的输入角速度.此谐振器利用变面积电容进行检测,具有良好的线性度及快速的信号响应.此谐振器的x轴及y轴的加速度计的谐振频率分别为1.931 5 kHz和1.840 3 kHz.在初始状态下,x轴的加速度计被驱动进入谐振状态,且y轴的加速度随着x轴的加速度计一起振动.当z轴存在角速度输入时,y轴的加速度计会相应地沿y轴进行振动,而x轴及y轴的加速度会改变相应轴上加速度计的平衡位置.测试结果表明,此器件的z轴角速度灵敏度为16 mV/((°)·s^(-1)),x和y轴的加速度灵敏度分别为49 mV/g和244 mV/g.z轴角速度输出的噪声等效角速度为0.013 8°/(?·(?)和y轴加速度输出的噪声等效加速度为0.42×10^(-3)g/(Hz)^(1/2)和0.074×10^(-3)g/(Hz)^(1/2).; 胡世昌朱辉杰马铭骏刘义冬金仲和; 关键词：栅结构加速度计陀螺

一种可调节微机械器件弹性系数的变面积电容结构: 本发明公开了一种可调节微机械器件弹性系数的变面积电容结构，在每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面相互平行，其特征是：所述可动电极的正表面为矩形且固定电极的正表面为三角形或锯齿形，或者所述可动电极的正表面为三...; 金仲和胡世昌张霞朱辉杰

一种具有电调谐功能的微机械梳状栅电容陀螺: 本发明公开了一种具有电调谐功能的微机械梳状栅电容陀螺，属于微机械惯性传感器领域。在所述陀螺的驱动或检测方向分布有电调谐变面积电容，在所述电调谐变面积电容的每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面相互平行，其中，...; 胡世昌金仲和张霞朱辉杰; 文献传递

一种微机械陀螺驱动方法: 本发明公开了一种微机械陀螺驱动方法，该方法包括交流信号产生、静电驱动信号产生、信号检测、幅度和相位提取四个步骤。本发明通过对微机械陀螺内部扰动的主动补偿，能使驱动模态检测信号的频率和幅度保持恒定，并且该信号与交流驱动信号...; 朱辉杰金仲和胡世昌刘义东; 文献传递

一种自校准的变面积电容检测方法: 本发明公开了一种自校准的变面积电容检测方法，该方法包括电容/电压转换模块、运动幅度信号提取模块、运动相位信号提取模块。本发明的检测电容为变面积结构，由矩形电极与三角形电极构成，利用检测电容与运动位移的非线性关系，由周期时...; 金仲和马威朱辉杰刘义冬; 文献传递

一种弹性系数可调的微机械梳状栅电容加速度计: 本发明公开了一种弹性系数可调的微机械梳状栅电容加速度计，属于微机械惯性传感器领域。在该加速度计的敏感方向上分布有用来调节弹性系数的电调谐变面积电容，所述电调谐变面积电容的每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面...; 金仲和胡世昌张霞朱辉杰; 文献传递

差分电容电压转换电路噪声性能分析及测试被引量：7: 2011年; 本文对电容检测式加速度计系统中广泛采用的差分电容电压转换电路建立了电容电压转换电路的等效噪声模型,并对双运放集成电路芯片所构成的差分电容电压转换电路的本底噪声以及仪表放大器输出端的噪声进行了测试,将电容电压转换电路本底噪声中的差模噪声分量和共模噪声分量进行了分离。测试结果表明影响加速度计系统噪声性能的差模噪声分量占电容电压转换电路本底噪声的50%。; 张霞胡世昌朱辉杰; 关键词：共模噪声

一种电容式微机械加速度计温度补偿系统及其方法: 本发明公开了一种电容式微机械加速度计温度补偿系统及其方法，电容式微机械加速度计温度补偿系统包括电容式微机械加速度传感器、驱动信号产生电路、电容/电压转换电路、模拟带通滤波器、第一数/模转换器、模/数转换器、第二数/模转换...; 朱辉杰金仲和胡世昌刘义东

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朱辉杰