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邵亚琪
作品数:
12
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院力学研究所
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中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目
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合作作者
代玉静
中国科学院力学研究所
郇勇
中国科学院力学研究所
张泰华
浙江工业大学机械工程学院特种装...
彭光健
中国科学院力学研究所
逯智科
中国科学院力学研究所
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作者
12篇
郇勇
12篇
代玉静
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邵亚琪
9篇
张泰华
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彭光健
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一种高分辨力变量程微尺度材料试验机
本发明公开了一种高分辨力变量程微尺度材料试验机,包括:支架、升降机构、位移传感器、具有一定重量的重力块和电子天平,升降机构安装在支架上,位移传感器的一端设置在升降机构上,所述升降机构用于在高度方向上对位移传感器进行举升;...
郇勇
邵亚琪
代玉静
文献传递
一种电磁式微扭矩材料试验机的校准装置和方法
本发明公开了一种电磁式微扭矩材料试验机的校准装置和方法,校准装置包括:横梁,架设在扭转轴上;第一轻质弹簧,一端设置在所述横梁的一端,所述第一弹簧的另一端悬挂有第一重物;第二轻质弹簧,一端设置在所述横梁的另一端,所述第二弹...
邵亚琪
郇勇
代玉静
彭光健
张泰华
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扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试方法
本发明公开一种扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试方法,该力方法包括:机架底座、音圈电机、加载轴、光栅尺、动夹具、定夹具、滑块和力传感器;音圈电机安装在所述机架底座的一端,其内部安装有用来测量所述加载轴位移的光栅尺;加...
郇勇
代玉静
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彭光健
张泰华
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用于残余应力压入测试方法检验的标准预应力加载装置
本发明公开一种用于残余应力压入测试方法检验的标准预应力加载装置,包括基体、加载元件、数显力传感器和夹具,所述基体的两端分别设置有孔,且左右两端孔同心,所述基体的内部设置有支撑试样的凸台;所述数显力传感器包括相连的力传感器...
代玉静
郇勇
逯智科
邵亚琪
张泰华
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扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试仪
本发明公开一种扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试仪,该力学性能测试仪包括:机架底座、音圈电机、加载轴、光栅尺、动夹具、定夹具、滑块和力传感器;音圈电机安装在所述机架底座的一端,其内部安装有用来测量所述加载轴位移的光栅...
郇勇
代玉静
邵亚琪
彭光健
张泰华
一种在材料拉扭试验中测量双轴应变的装置和方法
本发明公开了一种在材料拉扭试验中测量双轴应变的装置和方法,装置包括:第一支架,固定在被测试样上,用于安装纵向COD,所述纵向COD用于测量被测试样在被拉伸过程中产生的轴向变形;第二支架,固定在所述被测试样上,用于安装横向...
郇勇
代玉静
邵亚琪
张泰华
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用于残余应力压入测试方法检验的标准预应力加载装置
本发明公开一种用于残余应力压入测试方法检验的标准预应力加载装置,包括基体、加载元件、数显力传感器和夹具,所述基体的两端分别设置有孔,且左右两端孔同心,所述基体的内部设置有支撑试样的凸台;所述数显力传感器包括相连的力传感器...
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一种在材料拉扭试验中测量双轴应变的装置和方法
本发明公开了一种在材料拉扭试验中测量双轴应变的装置和方法,装置包括:第一支架,固定在被测试样上,用于安装纵向COD,所述纵向COD用于测量被测试样在被拉伸过程中产生的轴向变形;第二支架,固定在所述被测试样上,用于安装横向...
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一种高分辨力变量程微尺度材料试验机
本发明公开了一种高分辨力变量程微尺度材料试验机,包括:支架、升降机构、位移传感器、具有一定重量的重力块和电子天平,升降机构安装在支架上,位移传感器的一端设置在升降机构上,所述升降机构用于在高度方向上对位移传感器进行举升;...
郇勇
邵亚琪
代玉静
基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试
被引量:1
2014年
基于自制的微力试验机和全场位移光学测量仪,建立了微尺度力学性能原位测试系统。其中微力试验机基于电磁驱动兼载荷计量原理设计,载荷量程和噪音分别为±1N和50μN。全场位移光学测量仪基于白光数字散斑相关方法研制。采用该系统对MEMS单晶硅(001)微悬臂梁进行了面内弯曲力学性能原位测试,获得了微悬臂梁末梢施力点的力-位移关系曲线,以及全场变形情况。结果显示,微悬臂梁表现出很好的弹性弯曲行为,最后在根部发生脆性断裂。根据弹性弯曲理论计算出单晶硅弹性模量为123.8GPa(±3.2%)。该技术为研究MEMS微构件的力学性能提供了一种有效的手段。
邵亚琪
郇勇
代玉静
缪泓
张泰华
关键词:
微尺度
数字散斑相关方法
微电子机械系统
微悬臂梁
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