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蒋大洞
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
湘潭大学材料与光电物理学院
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发文基金:
长江学者和创新团队发展计划
国家自然科学基金
长江学者奖励计划
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相关领域:
化学工程
一般工业技术
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合作作者
龚跃球
湘潭大学材料与光电物理学院
郑学军
湘潭大学材料与光电物理学院
彭金峰
湘潭大学材料与光电物理学院
朱哲
湘潭大学材料与光电物理学院
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彭金峰
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郑学军
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龚跃球
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1篇
2013
1篇
2012
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基于取向平均方法多晶铁电薄膜残余应力的测量
铁电薄膜的特异性能,例如热释电性能、铁电性能、压电性能、电致伸缩性能、非线性光学性能以及电光性能等,使其具备了广泛的应用前景,进而引来了世界各地的学者以及政府部门的特别关注。薄膜的力学性能与剥离、脆性断裂和疲劳退化有着重...
蒋大洞
关键词:
铁电薄膜
残余应力
晶粒取向
压电性
横观各向同性
文献传递
退火温度对Bi_(3.15)(Eu_(0.7)Nd_(0.15))Ti_3O_(12)铁电薄膜力学性能的影响
被引量:1
2013年
利用金属有机物分解法(MOD)在Pt/Ti/SiO2/Si(111)衬底上制备了Bi3.15(Eu0.7Nd0.15)Ti3O12(BENT)薄膜,并经600℃、650℃、700℃、750℃退火处理。通过纳米压痕法测试了薄膜的硬度和弹性模量,采用X射线衍射(XRD)测量了薄膜的残余应力。BENT薄膜的晶粒尺寸随着退火温度的升高而不断变大。当晶粒尺寸从37 nm增大到46 nm时,薄膜的硬度值从8.4 GPa减少到3.1 GPa,弹性模量从171.5 GPa减小到141.6 GPa。随着退火温度从600℃升高到750℃时,薄膜的残余压应力值从–743 MPa减小到了–530 MPa。退火温度为600℃的BENT薄膜具有最大的硬度和弹性模量。
蒋大洞
郑学军
龚跃球
朱哲
彭金峰
关键词:
残余应力
退火温度
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