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赵一举

作品数：3 被引量：6H指数：1
供职机构：北京航空航天大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇压力传感器
  • 3篇力传感器
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇信号
  • 2篇稳定性
  • 2篇蓝宝石光纤
  • 2篇基板
  • 2篇光纤
  • 2篇光信号
  • 2篇硅基
  • 2篇硅基板
  • 2篇高温环境
  • 2篇高稳定
  • 2篇高稳定性
  • 1篇碳化硅
  • 1篇陶瓷
  • 1篇键合
  • 1篇键合强度

机构

  • 3篇北京航空航天...

作者

  • 3篇张德远
  • 3篇蒋永刚
  • 3篇赵一举

传媒

  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
面向超高温压力传感器的SiC-SiC键合方法被引量：6
2014年
为了实现耐高温压力传感器SiC腔体的制作，分别利用高性能陶瓷胶、旋涂玻璃和金属Ni等3种材料作为键合层．研究了SiC—SiC键合工艺．扫描电子显微镜和键合拉伸强度实验结果表明，这3种材料的键合层均可以成功应用于SiC－SiC键合，其中高性能陶瓷胶键合层厚度为20—30μm，键合强度可达4 MPa；旋涂玻璃键合层厚度为2μm左右，键合强度约1．5 MPa；金属Ni键合层厚度为1μm，键合强度约为0．5 MPa．
张德远赵一举蒋永刚
关键词：键合强度压力传感器
一种在高温环境下具有高稳定性的压力传感器微纳结构
一种在高温环境下具有高稳定性的压力传感器微纳结构，它包括碳化硅膜片、反射膜、半反射膜、键合层、碳化硅基板、封装层和蓝宝石光纤；反射膜镀在碳化硅膜片中部，半反射膜镀在蓝宝石光纤末端，键合层位于碳化硅膜片与碳化硅基板之间，蓝...
蒋永刚赵一举张德远
文献传递
一种在高温环境下具有高稳定性的压力传感器微纳结构
一种在高温环境下具有高稳定性的压力传感器微纳结构，它包括碳化硅膜片、反射膜、半反射膜、键合层、碳化硅基板、封装层和蓝宝石光纤；反射膜镀在碳化硅膜片中部，半反射膜镀在蓝宝石光纤末端，键合层位于碳化硅膜片与碳化硅基板之间，蓝...
蒋永刚赵一举张德远
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