潘松海
- 作品数：5 被引量：6H指数：2
- 供职机构：北京化工大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市教委科技计划面上项目更多>>
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- 铝诱导CdZnTe多晶薄膜的制备及物理特性研究
- CdZnTe薄膜材料具有原子序数较大、电阻率较高（可达109Ω·cm甚至更高）和禁带宽度较大等优点，可应用于天文、医学和太阳能等诸多领域。金属诱导法采用铝、铜、镍等金属，将其沉积到薄膜上或注入到薄膜内部，可达到降低薄膜结...
- 潘松海
- 关键词：CDZNTE磁控溅射电阻率
- 文献传递
- 铝膜溅射功率对铝诱导CdZnTe薄膜结构及性能影响被引量：2
- 2014年
- 采用磁控溅射法制备CdZnTe先驱薄膜/金属Al膜的层叠结构,利用铝诱导技术制备CdZnTe薄膜。通过原子力显微镜、X射线衍射、Raman光谱仪和半导体特性分析系统,研究了铝膜溅射功率对铝诱导CdZnTe薄膜结构及性能的影响。结果表明:随着铝膜溅射功率的增加,铝诱导CdZnTe薄膜表面的薄膜结晶质量、晶粒尺寸和薄膜电阻率先增大后减小。铝诱导晶化的效果与铝膜溅射功率有关,当铝膜溅射功率达到100 W,CdZnTe薄膜的晶化诱导效果最显著,薄膜结晶质量最好,晶粒尺寸最大。
- 曾冬梅慕银银潘松海刘皖陈飞
- 关键词：磁控溅射溅射功率
- 一种金属铝诱导多晶碲锌镉薄膜的制备方法
- 本发明涉及一种金属铝诱导多晶碲锌镉薄膜的制备方法，其特征在于将衬底清洗后，在真空度条件下，加热，通入氩气，进行反溅清洗，在碲锌镉晶体靶上的施加溅射功率起辉，对衬底表面镀碲锌镉先驱薄膜，再对镀碲锌镉先驱薄膜的表面溅射金属铝...
- 曾冬梅周海潘松海杨英歌
- 文献传递
- 铝诱导对磁控溅射制备CdZnTe薄膜结晶的影响被引量：3
- 2013年
- 选用Cd0.9Zn0.1Te晶体和纯度为99.999%的铝为靶材,结合Al诱导晶化技术,采用磁控溅射法在普通玻璃衬底上制备了CdZnTe薄膜。研究了铝诱导CdZnTe薄膜的结构和形核机理。研究表明,铝诱导的CZT薄膜为闪锌矿结构,且为(111)晶面的取向生长;在薄膜生长过程中,覆盖在CdZnTe表面的铝首先与ZnTe结合,形成了ZnAl2Te4相,并以此为核心,诱导CdZnTe异质形核结晶,重新形成了小晶粒团簇的较致密颗粒状薄膜,提高了薄膜(111)面的优势取向结晶,提高了CdZnTe薄膜的结晶质量。讨论了薄膜的光学性能。
- 潘松海周海曾冬梅
- 关键词：磁控溅射形核机理光学性能
- 铝诱导CdZnTe多晶薄膜的制备及物理的特性研究
- CdZnTe薄膜材料具有原子序数较大、电阻率较高（可达109Ω·cm甚至更高）和禁带宽度较大等优点，可应用于天文、医学和太阳能等诸多领域。金属诱导法采用铝、铜、镍等金属，将其沉积到薄膜上或注入到薄膜内部，可达到降低薄膜结...
- 潘松海
- 关键词：磁控溅射
