许恒志
- 作品数：4 被引量：0H指数：0
- 供职机构：北京科技大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术更多>>
- 一种用于金刚石膜沉积装置的重入式微波谐振腔
- 2010年
- 微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)是制备高品质金刚石膜的重要方法,而MPCVD技术的关键是其设备核心部件谐振腔的设计。本文基于目前广泛应用的圆柱式和椭球式两种MPCVD谐振腔中微波传输的特点和其各自的优点,提出了一种重入式微波谐振腔的设计构想,并利用数值模拟的方法对这一构想进行了验证。模拟的结果表明,微波在重入式微波谐振腔内外壁之间的路径传输后,可在金刚石膜沉积台处形成一最强且相对均匀的电场。在相同的输入功率下,其形成的最大电场强度高于圆柱式和椭球式两种谐振腔时的情况。由于重入式的微波谐振腔具有结构简单、频率易于调节的优点,因而这一构想可为设计制造新型的MPCVD金刚石膜沉积设备提供参考依据。
- 李晓静唐伟忠高春雨于盛旺许恒志胡浩林
- 关键词：数值模拟电场分布金刚石膜
- 一种红外窗口保护膜材料、其应用及其制备方法
- 本发明属于红外光学薄膜技术领域，具体涉及一种新型的过渡族金属Zr、Hf的氮化物光学薄膜和其应用以及其制备方法。本发明一种红外窗口保护膜材料，所述材料由过渡族金属Zr、Hf的氮化物所组成，成分为(Zr，Hf)Nx，其中x代...
- 唐伟忠许恒志惠大胜
- 文献传递
- 富氮MeNx(Me=Zr、Hf)薄膜的制备工艺及性能的研究
- 许恒志
- 关键词：磁控溅射
- 富氮MeN_x(Me=Ti,Zr,Hf)薄膜的结构与红外光学性能
- 2011年
- 用射频反应磁控溅射方法制备了MeNx(Me=Ti、Zr、Hf)薄膜,研究了在富N2条件下不同的N2/Ar流量比对薄膜结构和光学性能的影响。掠角X射线衍射的分析结果表明,所制得的富氮的TiNx薄膜主要由TiN所组成,而富氮的ZrNx、HfNx薄膜则具有非晶态的结构。用分光光度计和傅里叶红外仪对薄膜的光学透过率的测试表明,TiNx薄膜在可见光及红外波段基本上是不透的,而ZrNx、HfNx薄膜在相应的波长范围,特别是在红外波段则有较高的光学透过率。比较不同N2/Ar流量比条件下制备的MeNx(Me=Zr、Hf)薄膜发现,ZrNx、HfNx两种薄膜的结构和光学性能没有发生显著的变化。最后,在ZnS衬底上制备的HfNx薄膜,在不降低ZnS的光学透过率的情况下,显著地提高了ZnS的表面硬度。因此,HfNx薄膜有望成为红外光学窗口的一种新的保护膜材料。
- 许恒志唐伟忠于盛旺胡浩林惠大圣吕反修
- 关键词：红外波段透过率
