蔡田
- 作品数：8 被引量：5H指数：1
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- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 粗精动运动平台的系统辨识激励信号优化设计被引量：5
- 2010年
- 针对粗精动运动平台系统辨识中激励信号的生成进行了优化设计方法的研究。粗精动平台结构通常用于长行程、高精度的运动平台系统,如扫描光刻机运动平台、硬盘寻道平台等系统。获得粗精动系统的准确模型是改进粗精动运动系统控制的重要基础。而系统辨识是获得系统模型的一种有效方式。其中输入信号设计是系统辨识试验重要的一部分。将粗精动运动平台的系统模型简化为一类多变量有限阶次线性时不变模型;将多入多出(Multiple-input multiple-output,MIMO)辨识方法引入粗精动系统辨识,并提出一种多入多出模型系统辨识激励信号优化设计算法,算法通过将多正弦曲线时域信号与其功率谱密度参数化,利用参数化后的激励信号在有限功率输入下进行激励信号优化;理论分析与仿真结果表明此方法可以有效提高估计模型的渐进方差性能。
- 杨一博尹文生汪劲松朱煜蔡田
- 关键词：系统辨识优化设计
- 采用三维永磁阵列的平面电机
- 采用三维永磁阵列的平面电机，该平面电机包括动子和定子。所述动子采用三维永磁阵列，该三维永磁阵列由上底面分别为S极和N极的S型和N型正四棱台大永磁体以及小永磁体组成，所述S型和N型大永磁体都沿各自的上下两底面中心连线方向充...
- 朱煜张鸣汪劲松闵伟胡金春尹文生杨开明徐登峰段广洪蔡田
- 文献传递
- 一种采用槽型线圈的平面电机
- 一种采用槽型线圈的平面电机，主要应用于机械制造设备与机器人领域。该平面电机包括动子和定子，所述动子由四个一维线圈阵列组成，相邻线圈阵列的排列方向互成90°，每个一维线圈阵列由无铁芯矩形线圈和矩形两短边上翘成槽型的无铁芯槽...
- 朱煜张鸣汪劲松闵伟胡金春尹文生杨开明徐登峰段广洪蔡田
- 文献传递
- 采用磁悬浮平面电机的硅片台多台交换系统
- 采用磁悬浮平面电机的硅片台多台交换系统，主要用于光刻机系统中。该硅片台多台交换系统包括基台、硅片台组和硅片台驱动装置，所述硅片台组包括多个结构相同的分别工作于预处理工位或曝光工位的硅片台，所述硅片台驱动装置采用磁悬浮平面...
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- 一种采用槽型线圈的平面电机
- 一种采用槽型线圈的平面电机，主要应用于机械制造设备与机器人领域。该平面电机包括动子和定子，所述动子由四个一维线圈阵列组成，相邻线圈阵列的排列方向互成90°，每个一维线圈阵列由无铁芯矩形线圈和矩形两短边上翘成槽型的无铁芯槽...
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- 文献传递
- 超精密气浮工件台误差建模
- 2011年
- 为了研究多种作用因素在高加速、大行程条件下对超精密微动台静态精度的影响,利用刚体运动学,通过综合工件台中的线性位置误差与角位置误差,建立了超精密气浮工件台的静态误差解析模型。利用该模型,结合有限元等方法定量分析了超精密气浮工件台中加速度、制造误差、结构柔性及气浮轴承刚度等普遍存在的误差因素同时作用时对系统最终精度的影响。通过分析,证明在高加速、大行程条件下,气浮轴承的角刚度不足是造成静态误差的主要因素。
- 蔡田张鸣朱煜胡金春
- 采用三维永磁阵列的平面电机
- 采用三维永磁阵列的平面电机，该平面电机包括动子和定子。所述动子采用三维永磁阵列，该三维永磁阵列由上底面分别为S极和N极的S型和N型正四棱台大永磁体以及小永磁体组成，所述S型和N型大永磁体都沿各自的上下两底面中心连线方向充...
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- 文献传递
- 采用磁悬浮平面电机的硅片台多台交换系统
- 采用磁悬浮平面电机的硅片台多台交换系统，主要用于光刻机系统中。该硅片台多台交换系统包括基台、硅片台组和硅片台驱动装置，所述硅片台组包括多个结构相同的分别工作于预处理工位或曝光工位的硅片台，所述硅片台驱动装置采用磁悬浮平面...
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