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张艳敏

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：江苏大学机械工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇压力传感器
  • 1篇压阻
  • 1篇芯片
  • 1篇力传感器
  • 1篇绝对压力传感...
  • 1篇感器
  • 1篇长宽比
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇江苏大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇李昕欣
  • 1篇王权
  • 1篇张艳敏

传媒

  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
表面微机械加工的高长宽比矩形薄膜压力传感器被引量：1
2014年
设计了表面微机械加工的高长宽比矩形薄膜压力传感器芯片,采用由低压化学气相沉积法(LPCVD)制备的低应力氮化硅(LS SiN)薄膜作为压力传感器芯片的核心结构层,多晶硅薄膜淀积在LS SiN薄膜上,通过结构和位置的优化设计,干法腐蚀制作形成力敏电阻条。制作了压力量程从60 kPa到1 MPa的传感器芯片。试验测试了量程60 kPa压力传感器的长期稳定性,结果表明在室温环境下时,压力传感器显示了较稳定的长时输出,且用LPCVD低温二氧化硅密封的真空参考压力腔没有泄漏问题出现。该超小型传感器制造成本低,具有广泛应用的前景。
张艳敏王权李昕欣
关键词：绝对压力传感器压阻芯片
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