王亚楠
- 作品数：6 被引量：1H指数：1
- 供职机构：烟台大学更多>>
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- 相关领域：化学工程理学环境科学与工程更多>>
- NF3在高表面积Al2O3上的分解反应
- 以硝酸铝溶液为铝源,加入某些结构导向剂制备氧化铝前躯体,焙烧制得比表面积较高的γ-AlO,与NF反应时表现出了较高的反应活性。结果表明:加入适量的聚乙二醇-2000(PEG-2000)和吐温-60(Tween-60)为结...
- 孙亮牛宪军傅菲菲王亚楠徐秀峰
- 关键词：AL2O3
- NF3在MgO和Al2O3负载过渡金属氧化物上的分解反应
- NF3是一种用于半导体工业的新型蚀刻气和清洗剂,使用量逐年攀升。研究发现NF3是一种温室气体,其温室效应潜值(GWP)为17200,大气寿命约740年。无水条件下NF3与金属氧化物直接反应,生成金属氟化物,可有效消除NF...
- 王亚楠
- 关键词：三氟化氮氧化镁三氧化二铝
- 文献传递
- NF_3在Co-Al复合氧化物上的分解反应被引量：1
- 2011年
- 采用共沉淀法制备了n（Co）：n（Al）=0．1～4．0的Co—Al复合氢氧化物，再经焙烧得到Co-Al复合氧化物，对Co-Al复合氧化物进行了XRD和N2吸附-脱附表征。在固定床反应器中，在无水条件下考察了Co—Al复合氧化物的脱氟活性。实验结果表明，随n（Co）：n（Al）的增大，Co—Al复合氧化物的比表面积和孔体积减小；当n（Co）：n（Al）=0，1时，Co—Al复合氧化物具有较大的比表面积和孔体积；随m（Co）：n（Al）的减小，Co—Al复合氧化物的脱氟活性逐渐提高，NF3全转化时间逐渐延长，脱氟反应速率受扩散控制；脱氟反应后，Co—Al复合氧化物转化为CoF2和AlF3。
- 孙亮王亚楠徐秀峰
- 关键词：三氟化氮
- CF4在几种稀土氧化物-NaF-Si混合物上的分解反应
- 王亚楠牛宪军潘燕飞徐金光齐世学徐秀峰
- 关键词：混合物反应活性
- 溶胶凝胶法制备Al_2O_3及NF_3分解反应
- 2010年
- 以硝酸铝为铝源,加入几种结构导向剂,溶胶凝胶法制备了氧化铝前躯体,焙烧制得了比表面积较大的中孔γ-Al2O3,与NF3反应时表现出了较高的反应活性.其中加入PEG-2000为结构导向剂、溶胶凝胶结合超声处理法制备的γ-Al2O3反应活性较高,NF3全转化时间达540 min.
- 孙亮傅菲菲王亚楠徐秀峰
- 关键词：AL2O3溶胶凝胶法
- 无水条件下NF3在Co3O4/MgO上的分解反应
- 本文以MgO为基体,制备了Co3O4/MgO系列脱氟剂,用于NF3分解反应,提高脱氟剂活性.结果表明CoF2(Co3O4的氟化产物)与MgO之间发生氟一氧交换反应(CoF2+MgO=CoO+MgF2,rG0=101.4 ...
- 王亚楠武海鹏孙亮徐秀峰
- 关键词：废气处理三氟化氮
- 文献传递
