林建辉
- 作品数：4 被引量：12H指数：1
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信生物学自动化与计算机技术更多>>
- 碰撞式压电振动能量收集装置
- 一种碰撞式压电振动能量收集装置，属于压电材料能量转化与收集装置技术领域。装置包括支撑基片(2)、垫片(3)、振动块(4)、固定块(6)等；支撑基片(2)固定在垫片(3)上，垫片(3)固定在振动块(4)上，振动块(4)在环...
- 伍晓明杨轶卜灵林建辉刘理天任天令
- MEMS生物微电极阵列的制备与实验研究
- 本文设计并制造了一种基于微机电技术的生物微电极阵列,用于神经细胞的电信号读取研究。阵列由四个等间距的微硅针组成,每个硅针上有四个20μm × 20μm的金电极。对微电极阵列的MEMS 工艺流程进行了简要的介绍,并实现了印...
- 伍晓明林建辉黄朋生刘建设任天令高小榕刘理天
- 关键词：微电极阵列MEMS
- 文献传递
- 碰撞式压电振动能量收集装置
- 一种碰撞式压电振动能量收集装置，属于压电材料能量转化与收集装置技术领域。装置包括支撑基片(2)、垫片(3)、振动块(4)、固定块(6)等；支撑基片(2)固定在垫片(3)上，垫片(3)固定在振动块(4)上，振动块(4)在环...
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- 文献传递
- 用于振动能量收集的MEMS压电悬臂梁被引量：12
- 2008年
- 本文介绍了一种MEMS悬臂梁器件,将环境中的振动机械能转化为电能。该悬臂梁的主体材料为单晶硅,其上覆盖一层用Sol-Gel法制备的PZT压电材料,利用压电材料的正压电效应实现机电能量的转换。论文给出了悬臂梁式振动能量收集器的一个简单理论模型。器件采用(110)硅基片,有利于通过湿法腐蚀制备质量块。质量块可以用来降低器件的谐振频率,并提高输出电功率。尺寸参数为3600μm×270μm的器件样品的测试结果表明,在其谐振频率1673Hz,振幅为11nm的振动条件下,该器件的最大输出功率大于1nW,即0.11μW/cm2。
- 伍晓明方华军林建辉任天令刘理天
- 关键词：MEMS压电悬臂梁
