季旭
- 作品数：1 被引量：0H指数：0
- 供职机构：北京大学微电子学研究院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 基于MEMS技术集成硅微棱镜耦合和微流道的近红外表面等离子体谐振芯片(英文)
- 2009年
- 为促进表面等离子体谐振(surface plasmon resonance,SPR)测试技术在片上的实现,提出硅基近红外SPR芯片,由硅微棱镜、金属膜和聚合物微流体通道组成.利用有掩膜和无掩膜各向异性湿法腐蚀加工出底角为25.24°的单微硅棱镜阵列,用有掩膜各向异性湿法腐蚀加工出底角为54.74°的双微硅棱镜阵列,利用聚合物的复制注塑技术加工得到微流体通道.在波长1,550,nm时进行仿真与实验测试,实验测得以空气、水和乙醇为测试介质的SPR角分别为16.75°、22.58°和22.72°,这些值比以玻璃棱镜加工SPR传感器测得的SPR角要小很多.通过实验表明,近红外SPR芯片可以实现表面等离子体谐振传感器微型化,进而推动微全分析系统的实现,降低其成本并提高其性能.
- 耿照新季旭王玮李志宏
- 关键词：微流体近红外光
