刘柏旭
- 作品数：2 被引量：12H指数：1
- 供职机构：哈尔滨工业大学机电工程学院机器人研究所更多>>
- 发文基金：国家杰出青年科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 复合式MEMS微夹持器研究
- 微作业工具作为实现微操作的关键部件,是连接微观系统与宏观系统的关键环节。随着微操作对象尺寸的逐级减小,尺度效应的影响逐渐显著。一方面,由于尺度效应的影响,微小器件很容易粘着于微夹持器上而实现拾取操作,但很难实现稳定释放。...
- 刘柏旭
- 关键词：MEMS微操作微夹持器复合驱动
- 文献传递
- 复合式MEMS微夹持器的研制被引量：11
- 2009年
- 为实现对亚毫米微小构件稳定夹取及可靠释放等操作,研制了一种复合式微夹持器。采用有限元软件分析了微夹持器的机构及动力特性。应用MEMS体硅工艺将静电梳齿驱动与气动吸放集成构成复合式驱动,气动吸放的引入改善了微夹持器的操作性能,S形柔性梁结构的设计将梳齿驱动的直线运动转化成末端夹爪的转动实现了夹持操作。两种不同尺寸的微夹持器,有效扩展了微夹持器的夹持范围。根据微夹持器的操作控制需求,设计了微夹持器静电驱动控制系统以及气压控制系统。在80V的驱动电压下,微夹持器末端夹爪位移可达25μm。针对100～200μm的小球进行了微操作实验,实验结果表明,静电梳齿驱动结合真空吸附能够使夹取操作更加稳定,基于闭环控制的气路正压力能有效克服小球与夹爪之间的粘附力,实现可靠的释放操作。微夹持器基本满足100～200μm微小构件的操作需求。
- 陈立国刘柏旭
- 关键词：微机电系统微操作微夹持器
