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袁方

作品数：2 被引量：9H指数：1
供职机构：天津大学更多>>
发文基金：天津市自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇白光干涉
  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇特征结构
  • 1篇图像
  • 1篇图像拼接
  • 1篇微结构
  • 1篇相移
  • 1篇相移干涉
  • 1篇滤波
  • 1篇滤波器
  • 1篇面粗糙度
  • 1篇纳米测量机
  • 1篇高斯
  • 1篇高斯滤波
  • 1篇高斯滤波器
  • 1篇表面粗糙度
  • 1篇测量机
  • 1篇粗糙度

机构

  • 2篇天津大学

作者

  • 2篇袁方
  • 1篇胡小唐
  • 1篇马龙
  • 1篇高顺民
  • 1篇郭彤
  • 1篇傅星

传媒

  • 1篇光电子．激光

年份

  • 2篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
微纳特征结构评价与表面表征方法研究
随着超精密加工技术加工精度的不断提高和微电子器件、MEMS制造尺寸的不断减小,纳米加工技术应时而生。计量技术与工业生产技术从来都是互相促进、相互提高的,纳米计量技术也因此得到了飞速发展。针对超精密加工中对典型特征尺寸和微...
袁方
关键词：原子力显微镜相移干涉白光干涉高斯滤波器表面粗糙度
文献传递
基于白光干涉无重叠拼接的微结构表征方法被引量：8
2010年
针对白光干涉技术(WLI)应用于大范围测量时图像重叠拼接会引入误差并降低测量效率这一缺欠,本文基于纳米测量机(NMM)提出了一种无重叠拼接的白光干涉测试方法。利用NMM的高精度定位能力,扩展了普通白光干涉仪的测量范围,实现了对微结构近4倍于CCD视场的大范围测量,验证了无重叠图像拼接的可实现性。
郭彤袁方高顺民马龙傅星胡小唐
关键词：微结构纳米测量机
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共1页<1>
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