丁明辉
- 作品数：6 被引量：1H指数：1
- 供职机构：北京科技大学更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术化学工程更多>>
- TM<Sub>021</Sub>模式的高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置
- 本发明TM<Sub>021</Sub>模式的高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置，该装置由上下圆柱体、可调节的上腔体和微波反射板、沉积台、微波同轴激励口，微波石英窗口，进出气口，测温孔和观察窗等组成。此装置拥有TM<Sub...
- 唐伟忠李义锋苏静杰刘艳青丁明辉李小龙姚鹏丽
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- 一种圆顶式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置
- 一种圆顶式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置，适用于高功率微波输入下高品质金刚石膜的快速制备。谐振腔主体由圆顶反射体、金属薄板反射体、石英环窗口、圆柱反射体和沉积台所组成。金属薄板反射体可以阻挡微波向谐振腔顶部的传播，...
- 唐伟忠苏静杰李义锋刘艳青丁明辉李小龙姚鹏丽
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- 一种椭球形高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置
- 本发明为一种椭球形高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置，该装置由阶梯状环形微波耦合系统、设置于环形天线阶梯处的环形石英微波窗口、椭球形微波谐振腔、可调节沉积台、圆锥形上反射体和可调节圆柱形下反射体，进出气口，测温孔和观察窗...
- 唐伟忠李义锋苏静杰刘艳青丁明辉王歌
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- 高导热金刚石膜微波衰减材料的研究
- 随着电真空器件向着小型化,高功率化方向发展,这对微波衰减材料的导热率提出越来越高的要求。目前,国内外的衰减材料大多采用陶瓷基复合材料,由于复合材料中存在界面等缺陷会导致声子发生散射,且陶瓷材料本身热导率存在极限,使得这类...
- 丁明辉
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- MPCVD金刚石膜的品质对其在K-Ka波段微波介电性能的影响
- 2017年
- 针对MPCVD金刚石膜K-Ka波段(18～40 GHz)微波电子器件领域的应用需求,以及探索金刚石膜介电性能与品质之间的关系的需要,制备了5个金刚石膜样品,并建立了一套K波段分体圆柱谐振腔微波介电性能测试装置。使用Raman光谱表征金刚石膜质量,采用K波段分体圆柱谐振腔测量金刚石膜的介电性能,并与Ka波段的结果进行比较。结果表明,不同品质的样品介电损耗在3.8×10^(-5)～76.8×10^(-5)范围内,且介电损耗与Raman半峰宽密切相关。同时,高品质金刚石膜K波段介电损耗高于Ka波段,而低品质的则呈现相反的结果。这是由于高品质金刚石膜介电损耗主要由导电性引起,而低品质金刚石膜内较高的缺陷密度导致单声子声学振动吸收和瑞利散射较大。
- 刘艳青丁明辉苏静杰李义峰唐伟忠
- 关键词：拉曼光谱介电性能
- 四甲基硅烷流量对硬质合金表面沉积的SiC涂层的影响被引量：1
- 2013年
- 采用强电流直流伸展电弧化学气相沉积(HCDCA CVD)技术,在Ar、H2和四甲基硅烷(TMS)先驱体组成的混合气体气氛下,在YG6硬质合金衬底表面沉积了SiC涂层。本文对不同TMS流量条件下制备的SiC涂层的沉积速率、表面形貌、化学成分、物相组成以及附着力进行了对比研究。在此基础上,实验选取表面连续致密且附着力良好的SiC涂层作为过渡层进行了金刚石涂层的沉积,并对金刚石涂层的形貌、质量以及附着力进行了表征。实验发现。随着TMS流量的增加,SiC涂层的沉积速率加快,连续和致密性逐渐改善,但其附着力明显降低。连续致密且附着力良好的SiC涂层作为过渡层,可以有效地抑制硬质合金中Co的扩散,消除Co在金刚石涂层沉积过程中的不利影响,获得附着力良好的纳米金刚石涂层。
- 黑鸿君于盛旺刘艳青丁明辉李义锋唐伟忠
- 关键词：金刚石涂层
