杨一博
- 作品数：6 被引量：16H指数：2
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划北京市科技计划项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 高温氧化扩散炉温度控制系统自整定技术被引量：1
- 2008年
- 针对高温氧化扩散炉设备工艺温度需求,提出了高性能多段炉温控制系统与整定技术。系统各段加温区控制与整定采用各自独立通道,系统通过主动调节各通道激励信号,同时获得各段炉体的谐波平衡信号,从而获得临界周期与临界增益,最终通过Z-N法获得多段炉体PID参数。实验表明,改进的多段炉体整定技术参数稳定有效,时间缩短。利用整定参数进行温度工艺控制实验,实验结果达到氧化扩散工艺要求。
- 杨一博尹文生王春洪朱煜
- 关键词：扩散炉温度控制PID自整定
- 粗精动运动平台的系统辨识激励信号优化设计被引量：5
- 2010年
- 针对粗精动运动平台系统辨识中激励信号的生成进行了优化设计方法的研究。粗精动平台结构通常用于长行程、高精度的运动平台系统,如扫描光刻机运动平台、硬盘寻道平台等系统。获得粗精动系统的准确模型是改进粗精动运动系统控制的重要基础。而系统辨识是获得系统模型的一种有效方式。其中输入信号设计是系统辨识试验重要的一部分。将粗精动运动平台的系统模型简化为一类多变量有限阶次线性时不变模型;将多入多出(Multiple-input multiple-output,MIMO)辨识方法引入粗精动系统辨识,并提出一种多入多出模型系统辨识激励信号优化设计算法,算法通过将多正弦曲线时域信号与其功率谱密度参数化,利用参数化后的激励信号在有限功率输入下进行激励信号优化;理论分析与仿真结果表明此方法可以有效提高估计模型的渐进方差性能。
- 杨一博尹文生汪劲松朱煜蔡田
- 关键词：系统辨识优化设计
- 高温氧化扩散炉温控系统设计被引量：2
- 2009年
- 针对半导体行业高温氧化扩散炉设备设计、实现了一套炉温控制软硬件系统。硬件系统由多路开关、温度变送器、工控机、信号输入输出板卡组成。在此硬件基础上根据工艺要求设计控温软件的结构与算法,改进了PID参数整定算法,引入了轨迹规划算法,完成了多段炉体的控温、斜变升温、PID参数整定和自动温区分布。实验表明,在此系统控制下,炉体能够达到高温氧化扩散工艺的需求,并且系统的扩展性、稳定性、精确性等方面得到了提高。此温度控制系统已经应用于工业用高温氧化扩散炉设备。
- 杨一博尹文生王春洪朱煜张明超
- 关键词：扩散炉温度控制PID自整定
- 电磁力并联驱动式平面三自由度精密微动台
- 电磁力并联驱动式平面三自由度精密微动台，属于精密微动台技术领域。为了增强平面三自由度精密微动台电磁推力的线性特性、降低对象控制的难易程度、增大峰值推力、提高响应速度，本发明公开一种电磁力并联驱动平面三自由度精密微动台，包...
- 汪劲松朱煜曹家勇尹文生段广洪杨一博
- 文献传递
- 电磁力并联驱动式平面三自由度精密微动台
- 电磁力并联驱动式平面三自由度精密微动台，属于精密微动台技术领域。为了增强平面三自由度精密微动台电磁推力的线性特性、降低对象控制的难易程度、增大峰值推力、提高响应速度，本发明公开一种电磁力并联驱动平面三自由度精密微动台，包...
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- 文献传递
- 粗精动超精密运动平台系统建模与分析研究被引量：9
- 2008年
- 建立了气浮支撑粗精动超精密运动平台系统理论模型。在分析了系统中存在的位置耦合与力耦合的特性以及系统模型随平台质量比的变化产生的模型特性变化的基础上,用矩阵分式形式描述了系统的传递函数矩阵并分析了系统的能控性与能观性。基于建立的模型设计了LQG多输入多输出运动控制器并进行了运动平台控制仿真,结果表明,通过抑制气浮粗精动平台中产生的耦合作用可提高系统动态性能。
- 杨一博尹文生朱煜王春洪
- 关键词：LQG控制器
