张睿智
- 作品数：3 被引量：6H指数：2
- 供职机构：长春理工大学光电工程学院更多>>
- 发文基金：广东省教育部产学研结合项目更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术机械工程更多>>
- 254nm低通滤光片的研制被引量：4
- 2010年
- 根据紫外光学系统的设计要求,在K9基底上研制了254 nm高反射率、可见光谱区高透过率的低通滤光片。根据膜系设计理论,通过针法优化,获得了干涉型低通滤光片的膜系;对电子束蒸镀HfO2和MgF2材料进行了研究,解决了材料喷溅的问题,减少了薄膜的吸收;采用考夫曼离子源,通过优化工艺参数,提高膜层致密性,解决了光谱曲线漂移的问题,改善了成膜质量。
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- 关键词：电子束蒸发
- 254nm低通滤光片的研制
- 254 nm的紫外光源广泛应用于环保、医学、化工、印刷、公安、考古等部门和领域。根据紫外光学系统的设计要求，在K9基底上研制了254nm高反射率、可见光谱区高透过率的低通滤光片。根据膜系设计理论，通过针法优化，获得了干涉...
- 张睿智
- 文献传递
- 中小口径双非球面数控抛光技术研究被引量：2
- 2009年
- 针对口径Φ62 mm双凸非球面透镜,进行了数控研磨和抛光技术研究。提出了规范性的加工工艺流程,实现了中小口径双非球面元件的高效、快速抛光。根据计算机控制光学表面成型技术,采用全口径抛光和小抛头修抛的两步抛光法,在抛光中对其面形误差进行多次反馈补偿,使被加工零件表面的面形精度逐步收敛。最终两面的面形精度均小于0.5μm,中心偏差小于0.01 mm,满足了光学系统中对非球面元件的精度要求,并且在保证有较高面形精度和较好表面光洁度的同时,解决了双非球面中心偏差和中心厚度难以控制的加工技术难题。
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- 关键词：非球面去除函数面形精度
