尚帅华
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：东南大学更多>>
- 发文基金：广西壮族自治区自然科学基金江苏省自然科学基金江苏省“青蓝工程”中青年学术带头人培养对象资助项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信理学更多>>
- W/Al双层膜系的纳米压痕实验及有限元仿真被引量：2
- 2009年
- 采用磁控溅射法在CAT.No.7101玻璃基底上沉积了W/Al双层金属膜,并对其进行纳米压痕实验。利用非线性有限元法对压痕过程进行仿真,分析了膜基体系的应力分布。结果表明:磁控溅射法制备的薄膜组织均匀、力学性能好。W/Al双层金属膜系中的W薄膜的弹性模量与硬度平均值分别为75.4335GPa、6.206GPa,其值与块状W材料的相应参数差别较大。仿真曲线与实验结果基本相符,能够反映出膜基体系的力学状态以及应力分布规律。
- 尚帅华杨平李春
- 关键词：磁控溅射纳米压痕有限元仿真应力分布
- 过渡金属Cr、W与Al配对界面构造的机械特性研究
- 随着社会经济、科学技术的发展与进步,人们对信息量的需求越来越大,信息的大容量存储和高速度传输问题迫在眉睫。这势必要求电子元器件及系统设备快速升级,即朝着轻、薄、短、小、低功耗、多功能、高可靠性方向发展,正如超大规模集成电...
- 尚帅华
- 关键词：磁控溅射有限元仿真
- 文献传递
- Cr/Al双层纳米薄膜的力学性能测试及其仿真分析
- 2009年
- 采用纳米压痕仪测量Cr/Al双层纳米薄膜的力学性能,结合有限元仿真的手段对压痕测试进行模拟。通过实验测出了双层膜的弹性模量值和硬度值随着压深h的不同而表现出一定的变化规律,以及得出了溅射时由于核能粒子的轰击而形成的界面层的厚度及其力学性能特征。有限元仿真是对纳米压痕实验的补充,找出了应力主要集中在压头附近的区域,并且发现了最大应力主要集中在双层膜的下层Al膜中,而非上层膜Cr膜中。
- 李春杨平尚帅华
- 关键词：力学性能有限元
