李超
- 作品数:7 被引量:14H指数:3
- 供职机构:电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
- 发文基金:甘肃省自然科学基金甘肃省科技计划项目更多>>
- 相关领域:一般工业技术环境科学与工程自动化与计算机技术化学工程更多>>
- 溅射温度对于TaN薄膜应变敏感性能的影响研究
- 采用中频磁控溅射方法,在制备有绝缘层的金属基板上制备TaN薄膜应变计。并研究了溅射温度对于TaN薄膜微结构、室温电阻率以及对薄膜TaN应变计的电阻温度系数(TCR)和应变敏感系数(GF)的影响。结果表明,溅射温度对于Ta...
- 李超周勇宋阳贺利军蒋书文
- 关键词:TANTCRGF应变计
- 文献传递
- 溅射温度对TaN薄膜应变敏感性能的影响被引量:2
- 2013年
- 采用中频磁控溅射方法,在有绝缘层的金属基板上制备TaN薄膜应变计。并研究了溅射温度对TaN薄膜微结构、室温电阻率以及对薄膜TaN应变计的电阻温度系数(TCR)和应变敏感系数(GF)的影响。结果表明:溅射温度对TaN薄膜的微结构有显著影响;不同的溅射温度下,TaN会析出不同的晶相,不同晶相的TaN薄膜的电学性能和薄膜应变计的电阻温度系数都不相同;在400℃溅射温度下,N2分压为4%,溅射功率为200 W的条件下,制备的TaN薄膜应变计的TCR为50×10-6℃,GF为9,该薄膜应变计性能稳定,重复性好。
- 李超周勇宋阳贺利军蒋书文
- 关键词:TANTCRGF应变计
- 提取腐植酸后的天祝褐煤残渣对污水中Cr(VI)的吸附性能被引量:7
- 2010年
- 天祝褐煤资源丰富,其提取腐植酸后的残渣对污水中的有害物质有一定的吸附能力。为此,制备了天祝褐煤提取腐植酸后的残渣,研究了其对污水中重金属离子Cr(Ⅵ)的吸附性能。结果表明:在室温(20~25℃),pH值为5的条件下,褐煤残渣对Cr(VI)有较好的吸附性能,吸附平衡时间约为4h;吸附规律符合Freundlich吸附等温式,其相关系数R2为0.9686,特性常数n为2.0446,其吸附过程可用Ho准二级反应动力学模型描述。
- 郑李纯李超许力李静萍
- 关键词:CR(VI)腐植酸动力学吸附等温式
- 高分辨X射线衍射测定GaN外延膜的晶格常数
- 用低压金属有机化学气相外延(LP-MOCVD)方法在蓝宝石(A1203)衬底上生长GaN外延膜,用高分辨X射线衍射(HRXRD)技术分析该外延膜的晶格常数,探讨GaN自缓冲层的引入实现较高质量的GaN外延膜的基本结构特性...
- 姬洪李言荣李超左长明
- 关键词:高分辨X射线衍射外延膜晶格常数氮化镓
- 文献传递
- Pd-Cr薄膜应变计的研制被引量:3
- 2014年
- 采用射频磁控溅射法在镍基高温合金拉伸件上制备Pd-Cr薄膜应变计.研究了800℃大气退火对Pd-Cr薄膜结构、表面形貌、方决电阻的影响,并且测试了Pd-Cr薄膜应变计的电学及应变性能.结果表明:Pd-Cr薄膜是一种结构为面心立方的单相材料.800℃大气退火后,Pd-Cr薄膜表面生成一层致密的Cr2O3,且薄膜方阻减小.在20~400℃范围内,应变计电阻同温度呈线性变化,电阻温度系数(TCR)约为230 ~ 260 ppm/℃.室温和300℃下的灵敏系数(GF)分别为1.97和2.63.
- 周勇李超宋阳蒋书文
- 关键词:磁控溅射电阻温度系数
- 溅射温度对TaN薄膜应变敏感性能的影响
- 采用中频磁控溅射方法,在有绝缘层的金属基板上制备TaN薄膜应变计。并研究了溅射温度对TaN薄膜微结构、室温电阻率以及对薄膜TaN应变计的电阻温度系数(TCR)和应变敏感系数(GF)的影响。结果表明:溅射温度对TaN薄膜的...
- 李超周勇宋阳贺利军蒋书文
- 关键词:微结构
- 文献传递
- 复合絮凝剂PAFC-ST-AM的制备及其对模拟废水除磷率的试验被引量:3
- 2010年
- 制备了聚合氯化铝铁-淀粉-丙烯酰胺(PAFC-ST-AM)复合絮凝剂,考察了PAFC与ST-AM的质量配比、反应液的pH值和复合时间等复合反应条件。通过对含磷模拟废水的絮凝试验[正交L9(34)],得出了复合絮凝剂的最佳应用条件。结果显示,当PAFC∶ST-AM为4∶1,投加量为5mL/500mL,pH值为8时,磷的去除率可达92.36%。
- 李静萍李超孔爱平韩迪郑李纯
- 关键词:聚合氯化铝铁复合絮凝剂除磷率