卢永军
- 作品数：3 被引量：25H指数：2
- 供职机构：大连民族学院理学院光电子技术研究所更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 一种可实现薄膜厚度在线测量的方法被引量：5
- 2007年
- 介绍了一种测量固体薄膜厚度的光学方法。该方法具有测量速度快、可实现在线测量等特点。为解决薄膜生产过程中厚度在线检测问题，构造了一套软硬件实验系统，利用该系统进行实验的结果表明：在10～100μm厚度范围，测量误差小于10％，满足实际生产需要。
- 宋敏郑亚茹卢永军曲艳玲
- 关键词：光学方法薄膜厚度
- 焦斑可调的透镜阵列均匀辐照光学系统被引量：19
- 2007年
- 提出用两组透镜阵列与非球面透镜组成焦斑可调的均匀辐照光学系统,可实现靶面光斑尺寸在几微米到几毫米的范围内连续可调,并且能将圆形入射激光束变换为方形均匀焦斑,同时满足二维激光光束形状的改变和强度空间分布均匀化的要求。应用矩阵光学、衍射积分理论,详细分析了它的工作原理,给出了系统优化设计参数和详细的数值计算结果。模拟计算结果表明,当靶面离焦量为Δz=2 mm时,x,y方向平顶区的不均匀度分别为η_x =4．6％,η_y=5．3％,能量利用率达到95．3％,基本上达到了设计要求。Zemax光学设计软件的仿真实验测试结果与理论分析结果吻合得很好。
- 郑建洲于清旭卢永军关寿华
- 关键词：光学设计透镜阵列
- CMOS器件光学特性的测量被引量：1
- 2005年
- 介绍了一种测量CMOS像感器调制传递函数(modulation transfer function,MTF)的方法,分别构造了可用于MTF和光谱量子效率测量的实验系统.并利用上述实验系统对1024×1024的CMOS像感器的MTF和量子效率进行了测量,获得了令人满意的结果.
- 宋敏郑亚茹卢永军曲艳玲宋利民
- 关键词：CMOS调制传递函数量子效率
