刘秀梅
- 作品数：4 被引量：9H指数：2
- 供职机构：长安大学兴华学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程理学更多>>
- 利用干涉仪检测调整非球面物镜的光路被引量：2
- 2010年
- 介绍了利用干涉仪检测调整非球面物镜光路的方法。调整分粗调和精调两个阶段。在粗调阶段,以激光的光轴作为检测光路的基准光轴,建立起共轴光路检测系统;在精调阶段,以WYGO干涉仪内部倾斜系数作为调整依据,进行物镜的精调。用干涉仪测得的物镜的面形质量为:波前PV值优于λ/8,RMS值达到λ/100(λ=0.6328μm),检测结果满足波前检测镜头的要求。这表明此种光路调整方法能够反映物镜真实的面形精度,并且能用于高精度的物镜检测。
- 刘秀梅
- 关键词：非球面光学同轴
- 离轴椭球面的反射式补偿检验被引量：1
- 2012年
- 使用要求离轴椭球镜的面形PV(峰谷)值优于0.4λ(λ=351 nm)。根据三级像差理论球差表达式和补偿检验原理,得出检测光路中球面补偿镜的半径表达式。由已知数据求解补偿光路的初始结构参数,并带入软件中得到优化后的设计结果,优化后的结果和初始结构参数没有变化,说明补偿光路的求解方法是正确的。考虑到元件的加工误差和检测光路的调试误差,将误差带入检测光路进行模拟分析后,得出被检元件的面形精度:取98%的合格概率时,椭球镜的面形PV为0.379λ(λ=351 nm),能够满足使用要求,说明离轴椭球面的反射式补偿检验法是可行的。
- 李红光刘秀梅达争尚
- 关键词：三级像差理论
- 离轴非球面无光焦度系统的设计被引量：6
- 2010年
- 以三级像差理论为基础,对反射式无光焦度系统的像差进行了分析。得出的结论为:在主、次镜均为抛物面的前提下,反射式无光焦度系统可以同时消除四种像差。以此结论为基础,综合离轴反射系统的优点,得出了一套离轴反射式无光焦度系统。以光束口径为φ100mm、缩束倍率β=5、主镜离轴量h=150mm的离轴反射式无光焦度系统为例,根据系统的像差结果可以看出,三级像差理论的分析结果是正确的。
- 刘秀梅李红光
- 关键词：三级像差理论光学设计
- 非球面透镜在两波长间的补偿检验
- 2010年
- 在检验光路中,采用补偿透镜来补偿口径为φ500mm的非球面透镜的使用波长(λ=1053nm)与检测波长(λ=632.8nm)之间的色差。给出补偿透镜的求解方法,得到非球面透镜的补偿检验光路,并就非球面透镜的检验精度进行分析。通过精度分析可以看出,在此种补偿检验光路下,非球面透镜的透射波前PV不低于0.2λ(λ=632.8nm),可满足元件的精度要求。
- 李红光刘秀梅达争尚
- 关键词：非球面透镜
