刘禹冰
- 作品数:2 被引量:12H指数:2
- 供职机构:长春理工大学光电工程学院更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划贵州省科学技术基金更多>>
- 相关领域:电子电信理学更多>>
- 基于PET基底透明屏蔽膜的制备研究被引量:2
- 2017年
- 为满足光学器件透红外屏蔽电磁波的要求,在PET柔性基底上制作了金属网栅透明屏蔽膜.分析网栅参数对其屏蔽效率及透过率的影响,选取结构参数.针对PET基底的柔性特点及其热稳定性,经试验研究优化光刻工艺中的提拉速度、烘烤时间及温度等参数,从而得到高质量的图形结构.采用磁控溅射法制备透明屏蔽膜,通过优化溅射功率、溅射气压等参数使膜/基结合更牢固.最后得到线宽为3μm、周期为250μm的金属网栅透明屏蔽膜.采用分光光度计测得其在300~2 200nm波段的平均透过率为77%;采用屏蔽室法测得其在2~18GHz频段的电磁屏蔽效率为12dB以上.
- 付秀华郭贵新刘禹冰
- 关键词:光刻工艺磁控溅射
- 基于塑料镜片防水加硬抗老化光学薄膜的研制被引量:10
- 2017年
- 为了解决现有光学塑料镜片表面易划伤、高温时容易发生膜裂的问题,选取机械性能稳定的Ti_3O_5、SiO_2作为高、低折射率材料,依据光学薄膜理论,采用TFCalc软件设计膜系,通过电子束加热蒸发和离子源辅助沉积薄膜,在膜系的最外层用电阻加热法镀制防水膜。通过选择新材料SV-55作为连接层,增强了塑料镜片与膜层的附着力,解决了膜系与塑料镜片膨胀系数不匹配的问题,提高了塑料镜片的抗温能力。通过优化工艺参数,得到400nm^700nm反射率R≤1%的绿色减反膜。测试结果显示,研制的薄膜具有耐摩擦、抗老化、防水和防油污的特性。
- 付秀华刘禹冰熊仕富郭贵新杨永亮
- 关键词:光学薄膜光学塑料减反膜