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4臂边缘驱动变形镜校正低阶像差的仿真计算被引量：3: 2015年; 围绕未来固态大功率激光系统中低阶像差补偿的需求,开展了边缘驱动变形反射镜的优化设计和仿真分析。提出了4臂边缘驱动变形镜设计结构,并建立了仿真模型,以变形镜拟合残差面形的均方根(RMS)值和峰-谷(PV)值为目标,分析了不同结构参数对变形镜校正低阶像差能力的影响。根据对离焦、像散和彗差校正拟合残差面形的RMS值和PV值随结构参数变化的曲线,确定了变形镜的最佳设计参数并给出了该参数下拟合离焦、像散和彗差的残差面形RMS值和PV值。对于PV值分别为20、10、10μm的离焦、像散和彗差,拟合残差面形RMS值和PV值分别为0.2366μm和1.3762μm、0.0112μm和0.1146μm以及0.1606μm和0.9773μm。以上结果表明,设计的4臂边缘驱动变形镜的校正效果符合设计要求。; 刘李辉龙吟曹芬刘文智房勇刘文广; 关键词：自适应光学仿真模拟

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龙吟