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马云芳

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：安徽大学物理与材料科学学院更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金安徽省人才开发基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇应力
  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇微结构
  • 1篇膜厚
  • 1篇溅射
  • 1篇ZNS薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇ZNS

机构

  • 1篇安徽大学

作者

  • 1篇孙兆奇
  • 1篇宋学萍
  • 1篇马云芳
  • 1篇马锦

传媒

  • 1篇合肥工业大学...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
厚度对ZnS薄膜结构和应力的影响被引量：7
2007年
用射频磁控溅射法在单晶Si基片上制备了4种不同厚度的ZnS膜,采用XRD和光学干涉相移法对薄膜的微结构和应力进行研究。结构分析表明,不同厚度的ZnS膜均呈多晶状态,并有明显的(220)晶面择优取向,晶体结构为立方晶型(闪锌矿)结构;随着薄膜厚度的增加,平均晶粒尺寸随之增大;薄膜的晶格常数在不同厚度下均比标准值稍大。应力分析表明,随着膜厚的增加,ZnS膜的应力差减小,在厚度为768 nm时的选区范围内应力差最小,应力分布较均匀。
马锦马云芳宋学萍孙兆奇
关键词：ZNS薄膜射频磁控溅射膜厚微结构
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