许鸿彬
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 供职机构：深圳大学更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术电气工程更多>>
- 磁控溅射法制备AlN：Er薄膜的XPS和PL研究被引量：2
- 2010年
- 采用磁控溅射法,以Al/Er合金为靶材,在Si衬底上制备出AlN:Er薄膜。XRD分析结果表明样品为非晶态。XPS分析结果表明,制备的AlN具有良好的化学计量比,Er的含量为1at%左右,氧很难避免,含量约为10%。光致发光光谱的测试表明,样品的PL光谱呈现宽谱之上叠加尖峰谱的特征,其中,尖荧光峰谱源于Er3+的4f轨道直接激发跃迁,而宽谱则与Er3+的4f轨道的间接激发跃迁和O杂质有关。
- 许鸿彬刘文张勇吕文中
- 关键词：X射线光电子能谱光致发光光谱
- 布喇格反射层对SMR性能影响的仿真分析被引量：1
- 2010年
- 通过建立固态装配谐振器(SMR)模型,考虑硅衬底的声学损耗,从压电理论出发,仿真分析了不同布喇格层数对SMR的谐振性能的影响。仿真结果表明,由于布喇格层对声波的有效反射,减少了声能在衬底的损耗和衬底造成的杂散谐振,使SMR的品质因数得到很大提高;用Si3N4和SiO2作为布喇格层材料,要得到较好的品质因数,布喇格层对数至少要3对;另外,布喇格层厚度稍有偏差,也能使谐振频率处有较高的反射率,获得较好的品质因数。
- 许鸿彬刘文
- 关键词：品质因数
- 氮化铝高频薄膜体声波谐振器的仿真与制备
- 许鸿彬
- 关键词：氮化铝薄膜体声波谐振器
