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柳浩

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：大连工业大学艺术与信息工程学院更多>>
发文基金：高等学校科技创新工程重大项目国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇溅射
  • 1篇光谱
  • 1篇红外
  • 1篇红外光
  • 1篇红外光谱
  • 1篇傅里叶变换红...
  • 1篇傅里叶变换红...
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇大连工业大学
  • 1篇大连理工大学

作者

  • 1篇张东
  • 1篇管昌雨
  • 1篇白亦真
  • 1篇王健
  • 1篇赵纪军
  • 1篇潘丽
  • 1篇吴占玲
  • 1篇柳浩

传媒

  • 1篇吉林大学学报...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
用不同靶材制备B-C-N薄膜及其红外表征
2010年
采用射频磁控溅射方法,分别利用六方氮化硼(h-BN)、硼(B)和石墨(C)靶,在氩气和氮气的氛围中,沉积B-C-N薄膜.傅里叶变换红外光谱(FTIR)分析表明:在1200～1800cm-1和1000～1750cm-1处出现了较宽的吸收峰;在2200cm-1处出现了CN键的特征吸收峰.表明在沉积的薄膜中,C原子与N原子相结合.分别溅射C和h-BN靶,红外光谱分析表明,B—C键在1100cm-1处未产生吸收峰,即利用h-BN和C靶沉积的B-C-N薄膜倾向于相分离,利用B和C靶沉积的B-C-N薄膜中的原子实现了原子量级的化合.
王健白亦真张东潘丽柳浩管昌雨吴占玲赵纪军
关键词：傅里叶变换红外光谱射频磁控溅射
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