查燕清
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
- 供职机构：江苏大学更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 定向沉积法对Nd_2Fe_(14)B薄膜形态和磁性能的影响被引量：4
- 2006年
- 采用直流励磁磁控溅射法制备NdFeB稀土永磁薄膜。研究分析了衬底预热与定向沉积法对薄膜结构和磁性能的影响。实验结果表明:定向沉积技术制备出的NdFeB薄膜表面形成单一方向的柱状晶,该柱状晶生长方向垂直于薄膜表面,使薄膜具有良好的磁各向异性,薄膜矫顽力大大提高,H⊥/H∥比值改善。在预热温度200℃逐渐加热到500℃并保温10min时,薄膜磁性能最佳。
- 傅明喜宗华李岩查燕清
- 关键词：磁性能
- 定向沉积法对Nd_2Fe_(14)B薄膜形态和磁性能的影响被引量：1
- 2006年
- 采用直流励磁磁控溅射法制备Nd2Fe14B稀土永磁薄膜。通过对衬底预热,在溅射过程中持续动态加热并保温10min,实现定向沉积。主要考虑了该方法对薄膜磁性能的影响。结果表明薄膜取向度良好,有明显柱状生长迹象。薄膜矫顽力大大提高,H⊥/H∥比值改善。在预热温度200℃逐渐加热到500℃并保温10min时,薄膜磁性能最佳。
- 傅明喜宗华施秋萍李岩查燕清
