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李建芝
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中国电子科技集团第二十六研究所
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电子电信
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合作作者
蒋春键
中国电子科技集团第二十六研究所
李和新
中国电子科技集团第二十六研究所
谢克诚
中国电子科技集团第二十六研究所
石自彬
中国电子科技集团第二十六研究所
漆婷
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电清洗人造石英晶体技术的研究
2012年
该文采用电清洗技术研制出高稳定性,高可靠性,低腐蚀隧道密度的人造石英晶体。通过对电清洗工艺技术的研究,可将腐蚀隧道密度≤100条/cm2、Na+质量分数为2.33×10-6的石英晶体腐蚀隧道密度降低到≤10条/cm2,Na+质量分数减少到0.3×10-6。采用电清洗石英晶体技术研制出了腐蚀隧道密度≤3条/cm2,抗辐射性能提高2个数量级。
漆婷
李和新
谢克诚
李建芝
石自彬
蒋春键
关键词:
石英晶体
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