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周新
作品数:
1
被引量:12
H指数:1
供职机构:
南昌大学
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发文基金:
国家自然科学基金
江西省教育厅科学技术研究项目
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
刘晓阳
南昌大学机电工程学院
陈兵芽
南昌大学机电工程学院
胡敏
南昌大学机电工程学院
刘莹
南昌大学机电工程学院
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周新
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年份
1篇
2006
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微驱动器及其驱动原理
被引量:12
2006年
微机电系统(MEMS)是20世纪80年代在微电子技术的基础上兴起的一门应用技术。其中,微驱动器是微机电系统的重要组成部分。主要介绍了电磁驱动、静电驱动、压电驱动、形状记忆合金(SMA)驱动及热驱动等,介绍了它们各自的优缺点及其应用,对其应用前景进行了简要分析。
胡敏
刘莹
周新
陈兵芽
刘晓阳
关键词:
微机械
微驱动器
驱动方式
驱动原理
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