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万灵

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：黑龙江大学电子工程学院集成电路重点实验室更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇亚胺
  • 1篇湿度传感器
  • 1篇酰亚胺
  • 1篇聚酰亚胺
  • 1篇硅基
  • 1篇感器
  • 1篇IC工艺
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇黑龙江大学

作者

  • 1篇温殿忠
  • 1篇白续铎
  • 1篇唐祺
  • 1篇万灵
  • 1篇肖艳玲

传媒

  • 1篇黑龙江大学自...

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
硅基/聚酰亚胺湿度敏感元件研究被引量：5
2005年
硅基/聚酰亚胺湿度传感器是采用集成电路光刻工艺在硅衬底上制成了以PI材料为介质膜,以金、铝为电极的电容式湿度传感器。给出了聚酰亚胺(PI)材料的感湿机理,硅基/聚酰亚胺湿敏电容的结构,以及湿度传感器的制造工艺、湿敏特性、工作原理及应用等。测试结果表明,在相对湿度为10%-90%RH范围内C-%RH曲线线性度良好。
万灵温殿忠白续铎唐祺肖艳玲
关键词：硅基聚酰亚胺湿度传感器IC工艺
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