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赵海法

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：东北微电子研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇氧化铝
  • 1篇抛光
  • 1篇抛光液
  • 1篇半导体
  • 1篇A12O3
  • 1篇AL

机构

  • 1篇东北微电子研...
  • 1篇沈阳科晶设备...

作者

  • 1篇张革
  • 1篇江晓平
  • 1篇张向东
  • 1篇赵海法

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
白宝石(Al_2O_3)晶体基片用抛光液的研制及加工工艺被引量：4
2003年
张向东赵海法江晓平张革
关键词：A12O3抛光液半导体氧化铝
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共1页<1>
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