肖昀
- 作品数：22 被引量：49H指数：4
- 供职机构：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所更多>>
- 发文基金：国家重大技术装备创新研制项目苏州市科技计划项目(应用基础研究计划)江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目更多>>
- 相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 修正边界区域误差的共聚焦显微成像粗糙度测量被引量：3
- 2020年
- 为了对具有陡峭轮廓的物体进行非接触式表面粗糙度测量,常采用共聚焦成像对物体进行分层成像,进而重建出物体的表面三维轮廓,并采用高斯滤波的方法从表面三维轮廓中滤出粗糙度轮廓。在滤波过程中,会出现边界数据的缺失,常规的简单延伸原始轮廓两端数值的方法会导致滤波后的轮廓两端出现失真,该方法只适用于整体轮廓较为平缓的零件。引入了一种新的边界区域修正方法,该方法对表面弧度变化较大的零件也同样适用,能够准确提取物体的粗糙度轮廓。对整体轮廓较为平缓和陡峭的两组粗糙度样本分别进行共聚焦成像测量,对于整体轮廓较为平缓的样本,利用常规方法处理后,得到的均方根误差和粗糙度的平均值分别为0.080和2.86μm,与该样本粗糙度值2.94μm相比,相对误差为2.72%;利用边界区域修正方法处理后,得到的均方根误差和粗糙度的平均值分别为0.090和2.85μm,与该样本粗糙度值的相对误差为3.06%。整体轮廓较为陡峭的样本的粗糙度值为3.2μm,利用常规方法处理后,得到的均方根误差和粗糙度的平均值分别为0.120和3.31μm,与该样本粗糙度值的相对误差为3.48%;利用边界区域修正方法处理后,均方根误差和粗糙度的平均值分别为0.045和3.19μm,与该样本粗糙度值的相对误差为0.31%。研究结果表明,该方法能准确地测量整体轮廓较为陡峭的物体的表面粗糙度,为激光共聚焦粗糙度测量设备的研制提供了参考。
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- 关键词：非接触式测量表面粗糙度
- 基于干涉阵列光场的高分辨并行显微成像仪
- 本发明提供的基于干涉阵列光场的高分辨并行显微成像仪，对照明模块进行设计以生成四束偏振光，由于上述四束偏振光干涉得到包含大量光斑的阵列光场，从而实现了样品的并行照明；同时，本发明提供的基于干涉阵列光场的高分辨并行显微成像仪...
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- 基于干涉阵列光场的高分辨并行显微成像仪
- 本发明提供的基于干涉阵列光场的高分辨并行显微成像仪，对照明模块进行设计以生成四束偏振光，由于上述四束偏振光干涉得到包含大量光斑的阵列光场，从而实现了样品的并行照明；同时，本发明提供的基于干涉阵列光场的高分辨并行显微成像仪...
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- 文献传递
- 大数值孔径物镜下角向偏振光聚焦特性研究被引量：4
- 2015年
- 为了研究大数值孔径物镜下角向偏振光聚焦特性,提高激光扫描共聚焦显微镜的分辨率,根据Richards和Wolf矢量衍射理论建立计算模型,分析大数值孔径物镜下角向偏振光及经过0～2π相位调制的角向偏振光的聚焦光斑。经过0～2π相位调制的角向偏振光的聚焦光斑为实心光斑;该光斑的半峰全宽比径向偏振光光斑的半峰全宽小17.6%,比圆偏振光光斑的半峰全宽小11.6%。计算结果表明,经过0～2π相位调制的角向偏振光光斑作为激光扫描共聚焦显微镜的激发光,可以提高其分辨率。
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- 关键词：成像系统大数值孔径相位调制共聚焦
- 一种基于均匀结构光照明的共聚焦并行显微成像系统
- 本发明提供的基于均匀结构光照明的共聚焦并行显微成像系统，利用平顶高斯光束整形器对激光束进行整形生成平顶高斯光束，利用液晶空间光调制器将一束平顶高斯光束分成两束相干光，通过两束平顶高斯光束干涉得到均匀分布的结构光，采用均匀...
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- 文献传递
- 一种基于均匀结构光照明的共聚焦并行显微成像系统
- 本发明提供的基于均匀结构光照明的共聚焦并行显微成像系统，利用平顶高斯光束整形器对激光束进行整形生成平顶高斯光束，利用液晶空间光调制器将一束平顶高斯光束分成两束相干光，通过两束平顶高斯光束干涉得到均匀分布的结构光，采用均匀...
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- 偏振态和有效数值孔径对共聚焦全内反射显微术分辨率的影响被引量：5
- 2014年
- 为了研究入射光偏振态和入射光瞳有效数值孔径对共聚焦全内反射显微术（CTIRM）的分辨率，即焦点横向半峰全宽和纵向倏逝场透射深度的影响，根据Richard-Wolf矢量衍射理论，计算并讨论了线偏振、圆偏振、径向偏振和切向偏振入射光在界面处的光强分布情况；同时计算了在三种不同的有效数值孔径（1．33～1．45，1～1．45和1～1．12）时，焦点半峰全宽和倏逝场透射深度的数值结果。计算结果表明，当有效数值孔径为1．33～1．45，入射波长为532nm时，径向偏振光在横向上可达144nm的半峰全宽，优于线偏振的330nm和圆偏振的360nm，超过了衍射极限。薄且大的有效数值孔径能够获得更小的半峰全宽，其上下限的平方差越大，透射深度越小。三种数值孔径中，1—1．45时的透射深度最小，为140nm。相比较其他偏振光，径向偏振光更适合作为共聚焦全内反射显微术的入射激发光，并能够通过优化有效数值孔径，获得样品近表面处的高横向分辨率和低轴向荧光噪声。
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- 关键词：成像系统偏振衍射理论共聚焦全内反射
- 入射激光对激光扫描共聚焦显微镜分辨率的影响被引量：21
- 2014年
- 利用点扩散函数(PSF)研究了入射激光的偏振态和光束的束腰直径对激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)分辨率的影响。根据Wolf和Richards的矢量衍射积分,建立了LSCM N-1层界面下的照明PSF模型,对零层和两层界面下的PSF进行了计算分析。结果显示:在零层界面下,圆偏振光入射的PSF在xy平面内关于焦点旋转对称,半峰全宽为0.43μm,x向线偏振光入射时PSF在x、y方向的半峰全宽分别为0.48,0.39μm;在圆偏振光入射的PSF中,高斯光束充溢系数为0,1,2,5对应的半峰全宽分别为0.43,0.47,0.62,1.49μm。在两层界面下,当探测深度为50μm时,圆偏振光PSF的半峰全宽为0.26μm,x向线偏振光入射时PSF在x、y方向的半峰全宽分别为0.28,0.24μm;在圆偏振光入射的PSF中,充溢系数为0,1,2,5对应的半峰全宽分别为0.26,0.28,0.32,0.68μm。以上计算结果表明,和线偏振光相比,圆偏振光在一个方向的分辨率优于线偏振光,在相垂直的另一个方向的分辨率弱于线偏振光,圆偏振光PSF在xy平面内关于焦点旋转对称,得到了较好的成像质量;物镜入瞳直径与激光束腰直径比值越小,LSCM的分辨率越好。
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- 关键词：激光共聚焦显微镜点扩散函数分辨率偏振态
- 基于干涉阵列光场的共聚焦并行显微成像仪
- 本发明提供的基于干涉阵列光场的共聚焦并行显微成像仪，对照明模块进行设计以生成四束偏振光，由于上述四束偏振光干涉得到包含大量光斑的阵列光场，从而实现了样品的并行照明；同时，本发明提供的基于干涉阵列光场的共聚焦并行显微成像仪...
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- 文献传递
- CCD探测型共聚焦显微成像横向分辨率优化被引量：3
- 2016年
- 电荷耦合器件(CCD)探测型共聚焦显微成像是近年来共聚焦成像的新方法,其成像横向分辨率除受物镜数值孔径影响外,还与成像探测方点扩展函数分布区域中实际采用的CCD像元密切相关。用CCD取代传统共聚焦成像中的针孔和点探测器,选取点扩展函数分布区域中一定组合的CCD像元合成等效针孔,在合成针孔为不同尺寸时分别比较系统的横向分辨率,得到优化的合成针孔,通过对不同合成针孔获得的图像加权相减,实现消减成像,进一步提高横向分辨率。实验得出:当合成针孔尺寸为艾里斑直径0.8倍时(8pixel×8pixel),扫描图像同时具有较高的横向分辨率和信噪比;当用优化针孔(8pixel×8pixel)与较大针孔(10pixel×10pixel)图像加权相减时,权重系数取0.6时获得的消减图像横向分辨率相对于优化针孔图像提高了21.7%。CCD探测型共聚焦成像方法大大降低了传统共聚焦成像系统的装调难度,通过选取优化的合成针孔并进行消减成像可以提高成像的横向分辨率。
- 师亚琴张运海肖昀
- 关键词：共聚焦
