您的位置: 专家智库 > >

周仑

作品数:6 被引量:3H指数:1
供职机构:华中科技大学更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 4篇入射
  • 4篇入射光
  • 3篇窄带
  • 3篇红外
  • 2篇探测器
  • 2篇热探测器
  • 2篇主镜
  • 2篇装调
  • 2篇阻值
  • 2篇聚焦点
  • 2篇可调
  • 2篇光孔
  • 2篇光转化
  • 2篇红外光
  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇单晶硅片
  • 1篇掩膜
  • 1篇深刻蚀
  • 1篇芯片

机构

  • 6篇华中科技大学

作者

  • 6篇周仑
  • 4篇易飞
  • 3篇杨奥
  • 3篇李君宇
  • 3篇谈小超

年份

  • 1篇2021
  • 3篇2019
  • 1篇2017
  • 1篇2016
6 条 记 录,以下是 1-6
排序方式:
硅基深刻蚀的工艺研究
深硅刻蚀技术在工业界的很多领域有着广泛应用,包括集成电路的制造、微机电系统的设计、微纳光子学的研究以及三维集成电路堆叠等,其经历了由湿法刻蚀到干法刻蚀的历史演变,随着应用领域的拓宽与推进,工艺技术也得到了极大的发展。而在...
周仑
关键词:控制变量法
一种热探测器及其制备方法
本发明公开了一种热探测器及其制备方法,该热探测器包括从上之下依次排列的微结构阵列、介质层、金属层、钝化层以及热敏电阻层,微结构阵列结构对入射光进行筛选并吸收具有窄带光谱的红外光,具有窄带光谱的红外光在谐振腔内谐振,经由金...
易飞李君宇谈小超杨奥郭颂周仑蒋顺侯铭铭
文献传递
一种热探测器及其制备方法
本发明公开了一种热探测器及其制备方法,该热探测器包括从上之下依次排列的微结构阵列、介质层、金属层、钝化层以及热敏电阻层,微结构阵列结构对入射光进行筛选并吸收具有窄带光谱的红外光,具有窄带光谱的红外光在谐振腔内谐振,经由金...
易飞李君宇谈小超杨奥郭颂周仑蒋顺侯铭铭
一种窄带红外探测芯片及其制作方法
本发明涉及一种窄带红外探测芯片及其制作方法,包括以下步骤:选取单晶硅片,蒸镀一定厚度的金;通过PECVD设备进行表面沉积一定厚度的SiO<Sub>2</Sub>;旋涂PMMA曝光胶;设计十字交叉结构的纳米棒阵列,精确控制...
周仑李君宇谈小超杨奥
文献传递
一种基于超表面的电可调卡塞格林反射系统
本发明公开了一种基于超表面的电可调卡塞格林反射系统,包括主镜和辅镜;辅镜包括:柔性振膜、第一金属反射层和电极;第一金属反射层位于柔性振膜上方,用于将经主镜反射到所述辅镜上的入射光进行反射聚焦;电极连接在辅镜的柔性振膜与主...
易飞周仑陈逸堃
文献传递
一种基于超表面的电可调卡塞格林反射系统
本发明公开了一种基于超表面的电可调卡塞格林反射系统,包括主镜和辅镜;辅镜包括:柔性振膜、第一金属反射层和电极;第一金属反射层位于柔性振膜上方,用于将经主镜反射到所述辅镜上的入射光进行反射聚焦;电极连接在辅镜的柔性振膜与主...
易飞周仑陈逸堃
文献传递
共1页<1>
聚类工具0