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周仑
作品数:
6
被引量:3
H指数:1
供职机构:
华中科技大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
易飞
华中科技大学
谈小超
华中科技大学
李君宇
华中科技大学
杨奥
华中科技大学
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掩膜
1篇
深刻蚀
1篇
芯片
机构
6篇
华中科技大学
作者
6篇
周仑
4篇
易飞
3篇
杨奥
3篇
李君宇
3篇
谈小超
年份
1篇
2021
3篇
2019
1篇
2017
1篇
2016
共
6
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硅基深刻蚀的工艺研究
深硅刻蚀技术在工业界的很多领域有着广泛应用,包括集成电路的制造、微机电系统的设计、微纳光子学的研究以及三维集成电路堆叠等,其经历了由湿法刻蚀到干法刻蚀的历史演变,随着应用领域的拓宽与推进,工艺技术也得到了极大的发展。而在...
周仑
关键词:
控制变量法
一种热探测器及其制备方法
本发明公开了一种热探测器及其制备方法,该热探测器包括从上之下依次排列的微结构阵列、介质层、金属层、钝化层以及热敏电阻层,微结构阵列结构对入射光进行筛选并吸收具有窄带光谱的红外光,具有窄带光谱的红外光在谐振腔内谐振,经由金...
易飞
李君宇
谈小超
杨奥
郭颂
周仑
蒋顺
侯铭铭
文献传递
一种热探测器及其制备方法
本发明公开了一种热探测器及其制备方法,该热探测器包括从上之下依次排列的微结构阵列、介质层、金属层、钝化层以及热敏电阻层,微结构阵列结构对入射光进行筛选并吸收具有窄带光谱的红外光,具有窄带光谱的红外光在谐振腔内谐振,经由金...
易飞
李君宇
谈小超
杨奥
郭颂
周仑
蒋顺
侯铭铭
一种窄带红外探测芯片及其制作方法
本发明涉及一种窄带红外探测芯片及其制作方法,包括以下步骤:选取单晶硅片,蒸镀一定厚度的金;通过PECVD设备进行表面沉积一定厚度的SiO<Sub>2</Sub>;旋涂PMMA曝光胶;设计十字交叉结构的纳米棒阵列,精确控制...
周仑
李君宇
谈小超
杨奥
文献传递
一种基于超表面的电可调卡塞格林反射系统
本发明公开了一种基于超表面的电可调卡塞格林反射系统,包括主镜和辅镜;辅镜包括:柔性振膜、第一金属反射层和电极;第一金属反射层位于柔性振膜上方,用于将经主镜反射到所述辅镜上的入射光进行反射聚焦;电极连接在辅镜的柔性振膜与主...
易飞
周仑
陈逸堃
文献传递
一种基于超表面的电可调卡塞格林反射系统
本发明公开了一种基于超表面的电可调卡塞格林反射系统,包括主镜和辅镜;辅镜包括:柔性振膜、第一金属反射层和电极;第一金属反射层位于柔性振膜上方,用于将经主镜反射到所述辅镜上的入射光进行反射聚焦;电极连接在辅镜的柔性振膜与主...
易飞
周仑
陈逸堃
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