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刘晓刚

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：长春理工大学电子信息工程学院更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国际科技合作与交流专项项目吉林省科技发展计划基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇特征尺寸
  • 1篇成像

机构

  • 1篇长春理工大学

作者

  • 1篇王作斌
  • 1篇宋正勋
  • 1篇李丽丽
  • 1篇刘晓刚

传媒

  • 1篇长春理工大学...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
探针对原子力显微镜成像的影响
2014年
原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)的一个重要应用就是对样品表面的微纳米级尺寸特征进行成像,但在扫描成像的过程中,由于针尖的影响作用,使得扫描所获图像是原子力探针和样品共同作用的结果,而不是样品形貌的真实描述。本文通过用具有不同形状、尺寸针尖的探针对同一样品进行成像,将所得图像进行分析、对比,模拟和实验结果表明,为获得更准确的特征尺寸成像,对有不同特征尺寸的样品,需要选择适合的探针对其实施成像。
李丽丽宋正勋刘晓刚王作斌
关键词：原子力显微镜特征尺寸成像
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共1页<1>
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