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刘晓云

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：四川大学物理科学与技术学院纳光子技术研究所更多>>
相关领域：理学电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇时域有限
  • 1篇时域有限差分
  • 1篇时域有限差分...
  • 1篇金属
  • 1篇光刻
  • 1篇表面等离子激...

机构

  • 1篇四川大学
  • 1篇乐山师范学院

作者

  • 1篇邓迟
  • 1篇肖啸
  • 1篇许德富
  • 1篇肖志刚
  • 1篇刘晓云

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于厚金属狭缝阵列的表面等离子激元光刻被引量：1
2011年
提出一种利用厚金属狭缝阵列耦合激发表面等离子激元制作非周期图形的纳米光刻模型.采用时域有限差分电磁场模拟仿真软件研究了厚金属狭缝阵列中表面等离子激元的激发、模式选择以及光刻胶中的光场分布.结果表明,通过优化厚金属狭缝阵列结构参量和匹配介质参量可有效抑制表面等离子激元在光栅狭缝出口处的发散,增加表面等离子激元的穿透深度,可获得高分辨率的较大曝光深度的周期和非周期纳米图形,可为纳米激光直写技术提供有益的借鉴.
肖啸肖志刚许德富邓迟刘晓云
关键词：光刻时域有限差分法表面等离子激元
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共1页<1>
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