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何明阳

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：四川大学物理科学与技术学院纳光子技术研究所更多>>
发文基金：乐山市科技局重点项目四川省教育厅科学研究项目更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体激元
  • 1篇优化设计
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻系统
  • 1篇光学
  • 1篇银
  • 1篇表面等离子体
  • 1篇表面等离子体...
  • 1篇表面光学

机构

  • 1篇四川大学
  • 1篇乐山师范学院

作者

  • 1篇张志友
  • 1篇肖啸
  • 1篇许德富
  • 1篇肖志刚
  • 1篇何明阳

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
背向曝光表面等离子体激元干涉光刻系统中银层超透镜的优化设计被引量：2
2011年
利用表面等离子体激元(SPP)的局域能量增强效应可提高现有光学光刻的分辨率。背向曝光SPP干涉光刻技术可以大面积制备低成本的纳米周期性结构。理论分析了SPP在背向曝光系统中的共振透射特性,提出了背向曝光SPP干涉光刻系统核心元件———银层超透镜的优化设计方法,并利用时域有限差分法和理论解析式模拟计算了背向曝光SPP干涉光场分布,通过优化设计银层超透镜厚度和共振角,实验获得了较好的周期性光刻线条。
肖啸张志友何明阳肖志刚许德富
关键词：表面光学
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