石磊
- 作品数：1 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中南林业科技大学现代教育技术中心更多>>
- 发文基金：湖南省教育厅科研基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 硅材料微细电化学铣削技术研究
- 2015年
- 电化学加工是硅微细加工技术中的一种常用方法,但是直接用于三维加工比较困难,因此提出一种新的硅材料微细电化学铣削加工方法。该方法将电化学加工和铣削加工工艺结合起来,通过电化学加工技术能够实现材料的微量去除,而铣削加工工艺则能够实现三维加工。它利用硅在氢氧化钠溶液中的钝化作用,减少电化学杂散腐蚀。利用加工间隙的电火花放电对钝化膜的破坏作用,限制加工区域。实验表明,微细电化学铣削硅技术能够有效地减少杂散腐蚀,提高加工定域性,能够将电化学杂散腐蚀范围限制在10μm以内,该方法可用于硅的微细三维铣削加工。
- 陈辉石磊
- 关键词：硅材料微细加工氢氧化钠溶液
