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朱小帅
作品数:
3
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供职机构:
兰州理工大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
庞志远
兰州理工大学
张东阳
兰州理工大学
王向贤
兰州理工大学
杨华
兰州理工大学
王茹
兰州理工大学
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机构
3篇
兰州理工大学
作者
3篇
王茹
3篇
杨华
3篇
王向贤
3篇
朱小帅
3篇
张东阳
3篇
庞志远
年份
1篇
2019
2篇
2017
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一种基于样品旋转和激光双光束干涉的微纳结构刻写装置
本发明公开了一种基于样品旋转和激光双光束干涉的微纳结构刻写装置。该装置包括He‑Cd激光器,光电快门,短焦距透镜、长焦距透镜,分束器,平面反射镜A、平面反射镜B,光刻胶样品和样品旋转控制系统。He‑Cd激光器发出的激光束...
王向贤
陈宜臻
王茹
朱小帅
张东阳
庞志远
杨华
一种基于样品旋转和激光双光束干涉的微纳结构刻写装置
本发明公开了一种基于样品旋转和激光双光束干涉的微纳结构刻写装置。该装置包括He‑Cd激光器,光电快门,短焦距透镜、长焦距透镜,分束器,平面反射镜A、平面反射镜B,光刻胶样品和样品旋转控制系统。He‑Cd激光器发出的激光束...
王向贤
陈宜臻
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一种基于样品旋转和激光双光束干涉的微纳结构刻写装置
本实用新型公开了一种基于样品旋转和激光双光束干涉的微纳结构刻写装置。该装置包括He‑Cd激光器,光电快门,短焦距透镜、长焦距透镜,分束器,平面反射镜A、平面反射镜B,光刻胶样品和样品旋转控制系统。He‑Cd激光器发出的激...
王向贤
陈宜臻
王茹
朱小帅
张东阳
庞志远
杨华
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