姚世清
- 作品数：2 被引量：6H指数：1
- 供职机构：上海交通大学机械与动力工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 晶圆制造系统中Lot加工序列优化的蚁群算法
- 2008年
- 针对半导体晶圆制造系统中设备从缓冲区选择Lot加工问题,提出Lot加工序列优化的蚁群算法,对其进行计算时间复杂度分析,并给出了该算法的改进形式.该改进算法是根据晶圆制造系统重入特点,基于瓶颈设备构建蚁群算法求解模型,通过迭代仿真最终获取Lot加工优先序列表.仿真结果表明,采用该算法在短期调度区间内,与一般的基于规则的动态调度算法相比,效果得到了显著的改善.
- 姚世清江志斌郭乘涛胡鸿韬
- 关键词：半导体晶圆制造系统蚁群算法离散事件仿真时间复杂度
- 基于规则的批处理设备调度方法在半导体晶圆制造系统中应用被引量：6
- 2013年
- 针对半导体炉管区瓶颈设备的批处理调度问题,提出满足工艺约束和设备限制的组批调度算法.在考虑产品动态到达的基础上,根据半导体制造系统大规模、多重入、混合型生产等特征,针对晶圆平均等待时间进行优化,实现多产品、多机台的实时组合派工.仿真实验在一个虚拟的晶圆制造系统上进行.结果表明,该算法在实时派工中对瓶颈设备填充率和利用率显著提升,有效地缩短了产品加工周期.
- 李程江志斌李友李娜耿娜姚世清贾文友
- 关键词：半导体晶圆制造系统批处理调度
