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陈勤

作品数：1 被引量：10H指数：1
供职机构：信息产业部更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇感器
  • 1篇半导体
  • 1篇MEMS传感...
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇信息产业部
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇范树新
  • 1篇张维波
  • 1篇陈勤

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS传感器的标准化现状与发展对策被引量：10
2007年
随着MEMS传感器在各个领域的广泛应用,传感器领域的标准化工作思路和技术路线发生了变化。论述了目前国内外MEMS传感器标准的现状,并就国内外MEMS传感器标准体系的发展过程、特点、标准体系存在的问题、与现有半导体标准的关系进行了分析探讨,同时,对我国MEMS传感器标准的发展对策提出了建议。
陈勤范树新张维波
关键词：微电子机械系统传感器半导体
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