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陈勤
作品数:
1
被引量:10
H指数:1
供职机构:
信息产业部
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
张维波
中国电子科技集团公司第四十九研...
范树新
中国电子科技集团公司第四十九研...
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作者
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范树新
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张维波
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陈勤
传媒
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传感器与微系...
年份
1篇
2007
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MEMS传感器的标准化现状与发展对策
被引量:10
2007年
随着MEMS传感器在各个领域的广泛应用,传感器领域的标准化工作思路和技术路线发生了变化。论述了目前国内外MEMS传感器标准的现状,并就国内外MEMS传感器标准体系的发展过程、特点、标准体系存在的问题、与现有半导体标准的关系进行了分析探讨,同时,对我国MEMS传感器标准的发展对策提出了建议。
陈勤
范树新
张维波
关键词:
微电子机械系统
传感器
半导体
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