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退火时间对铝诱导非晶硅薄膜晶化过程的影响被引量：6: 2011年; 基于铝诱导非晶硅薄膜固相晶化方法,利用直流磁控溅射离子镀技术制备了Al/Si/…Al/Si/glass周期性结构的薄膜。采用真空退火炉对Al/Si多层薄膜进行了500℃退火实验,通过透射电子显微镜(TEM)分析了不同退火时间下Al/Si多层薄膜截面形貌的变化规律,并结合扩散过程探讨了退火时间对铝诱导非晶硅薄膜晶化过程的影响机理。研究结果表明:在铝诱导非晶硅薄膜固相晶化过程中,在退火过程的初期,晶态硅薄膜的生长主要来源于因Al的存在而形成的硅初始晶核数量增加的贡献。随退火时间的延长,晶态硅薄膜的生长主要是依靠临界浓度线已推进区域中未参与形核的硅原子扩散至初始晶核位置并进行外延生长来实现的。经500℃退火1 h后,Al/Si薄膜的截面形貌中出现了沿Si(111)晶面生长的栾晶组织。; 焦栋茂王新征李洪涛郭烈萍蒋百灵; 关键词：退火时间非晶硅薄膜晶化扩散

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王新征