欧文
- 作品数：40 被引量：89H指数：5
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程经济管理更多>>
- 一种硅基MEMS微波SIR交指带通滤波器被引量：5
- 2017年
- 基于7阶SIR交指结构滤波器,提出了一种基于硅MEMS技术的微波S波段交指带通滤波器。不仅保留了交指结构的高通带选择性,而且可以通过调整SIR的阻抗比和电长度比来实现宽阻带。采用MEMS工艺,在双层高电阻率的硅片上完成了滤波器的制作和自封装,它具有体积小、损耗低的优点。仿真结果表明,该滤波器在中心频率2.35GHz处的相对带宽为30%,带内插损小于1.5dB,回波损耗大于15dB,在频率f_0±0.8GHz处的阻带抑制比大于50dB。该交指带通滤波器的体积仅为(11×7×0.8)mm^3。
- 翟琼华欧毅薛晨阳袁烽李志刚欧文
- 关键词：带通滤波器交指滤波器阶跃阻抗谐振器微机电系统
- 基于纳米化聚酰亚胺材料的MEMS湿度传感器的研究被引量：2
- 2016年
- 针对现有的MEMS湿度传感器制备工艺复杂、灵敏度较低等问题,文中报道了一种基于纳米化聚酰亚胺材料的MEMS湿度传感器,该器件的感湿材料是利用等离子技术对聚酰亚胺进行表面修饰制备的,该方法简单且与CMOS工艺兼容。同时文中对同样结构基于亚胺化聚酰亚胺材料和纳米化聚酰亚胺材料的两种器件在不同湿度条件下的电容响应特性进行了测试,测试结果表明,在相对湿度50%~80%范围内,基于纳米化聚酰亚胺材料的器件灵敏度高于同样结构基于亚胺化聚酰亚胺材料器件约50%。
- 雷程唐力程毛海央王岩王玲胡建东欧文熊继军
- 关键词：湿度传感器聚酰亚胺纳米化等离子体技术亚胺化
- 宽响应范围的MEMS热电偶真空度传感器被引量：1
- 2015年
- 报道了一种基于双层多晶硅材料的MEMS热电偶真空度传感器。该器件采用双层热偶排布方式可进一步减小器件横向尺寸,同时采用XeF_2各向同性正面刻蚀技术释放形成微腔结构,该技术避免了湿法腐蚀工艺复杂、不易控制等缺陷。在器件制备的基础上,对该器件在不同真空度条件下的响应特性进行了测试,测试结果表明该器件在常温下的真空响应上限达10-5 Pa。而不同加热功率条件下,该器件的响应灵敏度随着加热功率的增大呈增大趋势。
- 雷程毛海央欧文薛晨阳唐力程杨涛陈大鹏熊继军
- 关键词：热电偶真空度双层多晶硅灵敏度
- 复合薄膜作为红外吸收层的热电堆红外气体探测器及其加工方法
- 本发明属于热电堆红外气体探测器的技术领域，具体涉及一种复合薄膜作为红外吸收层的热电堆红外气体探测器及其加工方法，解决了传统热电堆红外探测器热电转化率低和释放过程中悬浮结构易损坏等问题。其包括SOI衬底、热偶条、SiO<S...
- 谭秋林陈媛婧熊继军薛晨阳张文栋刘俊毛海央明安杰欧文陈大鹏
- 红外多气体传感器设计被引量：7
- 2016年
- 针对甲烷、二氧化碳和一氧化碳三种气体的同时检测,设计出一种红外多气体传感器。该传感器将探测器和红外光源集成在光学气室内。在对气室进行设计时,首先确定气室高度为25 mm,随后通过计算和软件仿真分析确定气室的半径为10 mm。设计完成外围电路并对传感器进行测试,结果显示：对甲烷、一氧化碳和二氧化碳的检测范围可达到（0~40 000）×10-6。
- 唐力程谭秋林毛海央欧文雷程熊继军
- 关键词：红外传感器电路设计
- 架空式热电堆红外探测器
- 本发明涉及热电堆红外探测器，具体是一种架空式热电堆红外探测器。进一步改进了热电堆红外探测器。所述探测器的加工步骤包括：1、在SOI衬底正面加工两隔离槽，划分出了两个热电偶加工区；2、加工SiO2介质支撑膜；3、加工构成热...
- 谭秋林陈媛婧熊继军薛晨阳张文栋刘俊毛海央明安杰欧文陈大鹏
- 文献传递
- 一种与CMOS工艺兼容的热电堆红外探测器被引量：3
- 2012年
- 报道了一种与CMOS工艺兼容的微机械热电堆红外探测器。提出了具有一对热电偶的两层悬浮结构,其占空因子达到80%以上,并采用P/N多晶硅作为热电偶材料,黑硅作为吸收层材料。给出了器件的工作原理,对性能优化与制作的工艺流程进行了分析,结合所选材料的基本参数,得到了优化后的结构尺寸。通过理论计算,可以获得响应率大于1000 V/W,探测率大于1×108cmHz1/2W-1,时间常数小于40ms,噪声等效温差小于30mK的性能优良的热电堆红外探测器。该器件的吸收层位于结构中的顶层,金属布线位于底层,便于与后续电路集成。单元大小为25 m×25 m,有利于制作非制冷红外焦平面阵列。
- 赵利俊欧文闫建华明安杰袁烽夏燕
- 关键词：热电堆红外MEMS
- SCDI结构快闪存储器件Ⅰ:模拟与分析(英文)
- 2004年
- 研制成一种台阶沟道直接注入 (SCDI)器件 ,通过在沟道的中间制作一个浅的台阶来改变热载流子的注入方式 ,从而获得了高的编程速度和注入效率 ,降低了工作电压 .并对 SCDI器件结构和常规器件结构进行了模拟分析 ,提出了改进
- 欧文钱鹤
- 关键词：快闪存储器编程速度低电压
- 新的非平面Flash Memory结构(英文)
- 2002年
- 提出了一种为在低压下工作的具有较快编程速度的新的非平面的 flash memory单元结构 ,该结构采用简单的叠栅结构并只需增加一步光刻制做出这一新的沟道结构 .对于栅长为 1.2μm flash单元 ,获得了在 Vg=15V ,Vd=5V条件下编程时间为 42 μs,在 Vg=-5V,Vs=8V条件下的擦除时间为 2 4ms的高性能 flash单元 ,这一新结构的编程速度比普通平面型快闪存储器要快很多 .这种新结构
- 欧文李明钱鹤
- 关键词：非平面快闪存储器编程速度
- 一种黑硅吸收层的热电堆红外探测器设计(英文)被引量：1
- 2012年
- 设计一种以黑硅这种对几乎所以可见光和部分红外光具有很高吸收率的新型材料作为表面吸收层的热电堆红外探测器,针对这一设计作出了大量关于黑硅对不同波长下的红外吸收率的研究。通过红外基本理论,结合MEMS工艺的兼容性,设计采用两种热电偶材料叠放的方式,并以氧化硅薄膜作为隔离的结构;另外,探测器采用氧化硅上制作的多晶硅作为新型衬底。在器件释放中被XeF2正面腐蚀的部分是多晶硅,这样的设计解决了硅释放的对准问题和SOI衬底陈本高的问题。这种材料可以提高探测器的性能同时减小成本。
- 夏燕薛晨阳欧文袁峰赵利俊
- 关键词：兼容性热电堆红外MEMS
