刘松
- 作品数：13 被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：文化科学自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 谐振式MEMS磁传感器数字锁相放大器设计被引量：5
- 2019年
- 介绍了一种用于谐振式微机电系统(MEMS)磁传感器输出信号检测的数字锁相放大器。通过分析MEMS磁传感器的工作原理和输出信号特征,并根据相干解调原理,设计了数字锁相放大器,其中包括信号通道、参考通道和数字式相干解调器的设计。在数字式相干解调器的设计中,通过正交解调法来消除相位差对磁传感器灵敏度的影响,利用带通采样和降采样来降低硬件要求。将数字锁相放大器应用于磁传感器,顺利实现了对磁传感器输出信号的解调。测试结果具有良好线性度,其非线性度为0. 46%。
- 任泽龙刘松梁亨茂李宝清李宝清
- 关键词：数字锁相放大器正交解调
- 极板结构、采用该极板结构的静电驱动结构及其制作方法
- 本发明一种极板结构、采用该极板结构的静电驱动结构及其制作方法，所述极板结构的一侧面设有至少一个上下贯穿所述极板结构的阻尼孔，其中，所述阻尼孔的上开口面积或下开口面积大于侧开口的面积。本发明的阻尼孔可运用现有技术水平轻易制...
- 熊斌刘松徐德辉马颖蕾
- 文献传递
- 共面键合结构及其制备方法
- 本发明提供一种共面键合结构及其制备方法，所述制备方法包括步骤：a)提供一待键合的器件结构，所述器件结构包括至少两个定义的功能区，其中，各所述功能区均具有待引出面，且至少两个所述待引出面位于不同高度的平面；b)将各所述待引...
- 熊斌梁亨茂刘松徐德辉
- 极板结构、采用该极板结构的静电驱动结构及其制作方法
- 本发明一种极板结构、采用该极板结构的静电驱动结构及其制作方法，所述极板结构的一侧面设有至少一个上下贯穿所述极板结构的阻尼孔，其中，所述阻尼孔的上开口面积或下开口面积大于侧开口的面积。本发明的阻尼孔可运用现有技术水平轻易制...
- 熊斌刘松徐德辉马颖蕾
- 文献传递
- 谐振式MEMS磁传感器接口电路设计被引量：3
- 2016年
- 介绍了一种谐振式微系统(MEMS)磁传感器的接口电路,电路由驱动电路和信号检测处理电路组成。驱动电路采用直接数字频率合成器(DDS)产生磁传感器驱动信号,同时为检测电路提供同步信号;信号检测处理电路对磁传感器输出信号和DDS产生的同步信号进行同步解调,最终得到所需的磁场信号。最后对电路的性能和测试结果进行分析和总结。
- 高华磊徐德辉刘松马颖蕾熊斌
- 关键词：同步解调接口电路
- 共面键合结构及其制备方法
- 本发明提供一种共面键合结构及其制备方法，所述制备方法包括步骤：a)提供一待键合的器件结构，所述器件结构包括至少两个定义的功能区，其中，各所述功能区均具有待引出面，且至少两个所述待引出面位于不同高度的平面；b)将各所述待引...
- 熊斌梁亨茂刘松徐德辉
- 文献传递
- 三轴微机械磁场传感器
- 本发明提供一种三轴微机械磁场传感器，包括两个呈正交排列的第一谐振结构组件及第二谐振结构组件。本发明的三轴微机械磁场传感器不需要磁性材料，不存在磁滞和磁饱和现象，制作工艺与标准CMOS工艺兼容，可实现大批量，低成本生产；第...
- 熊斌刘松徐德辉梁亨茂
- 扭转式微机械磁场传感器及其制备方法
- 本发明提供一种扭转式微机械磁场传感器及其制备方法，所述扭转式微机械磁场传感器包括：谐振结构组件；所述谐振结构组件包括：谐振结构、第一绝缘层、感应线圈及驱动电极；所述第一绝缘层位于所述谐振结构表面；所述感应线圈位于所述第一...
- 熊斌刘松梁亨茂徐德辉
- 一种适用于MEMS谐振式传感器的闭环驱动电路
- 本发明涉及一种适用于MEMS谐振式传感器的闭环驱动电路，传感器在静电力的激励下处于谐振状态时，I/V转换器将检测电极上的感应电流转换成电压，其中反馈回路上的电阻用于设定增益，与之并联的电容则用于环路相位补偿，取代现有的相...
- 熊斌刘松梁亨茂徐德辉
- 磁场传感器结构及其制备方法
- 本发明提供一种磁场传感器结构及制备方法，磁场传感器结构包括：衬底结构；至少一个驱动电极组件，包括若干个间隔排布的第一梳齿单元，悬空设置于衬底结构上；谐振结构组件，包括谐振结构部及至少一个梳齿部，均悬空设置于衬底结构上，梳...
- 熊斌刘松梁亨茂
- 文献传递
