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俞丹

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：复旦大学更多>>
发文基金：教育部跨世纪优秀人才培养计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇碳氮薄膜
  • 1篇硼碳氮薄膜
  • 1篇离子束
  • 1篇离子束辅助
  • 1篇离子束辅助沉...
  • 1篇脉冲激光
  • 1篇脉冲激光沉积

机构

  • 1篇复旦大学

作者

  • 1篇卢意飞
  • 1篇孙剑
  • 1篇吴嘉达
  • 1篇俞丹
  • 1篇戴祝萍

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
离子束辅助脉冲激光沉积硼碳氮薄膜被引量：1
2007年
以烧结B4C为靶材料、在氮离子束辅助下用脉冲激光沉积方法制备了三元化合物硼碳氮(BCN)薄膜。用X光电子谱和傅立叶变换红外谱方法表征了制备的薄膜。结果表明,膜层中包含B-C、N-C、B-N键等复合结构,以B-C-N原子杂化的形式结合成键,而并非各种成分的简单混合。还探讨了成膜过程和相关机理,离子束中的活性氮有效地和脉冲激光对B4C靶烧蚀产生的硼和碳结合成键,氮离子束的辅助还能在一定程度上抑制氧杂质进入膜层,给衬底适当加温有利于提高氮的含量并影响薄膜的化学结构。
俞丹卢意飞戴祝萍孙剑吴嘉达
关键词：硼碳氮薄膜脉冲激光沉积离子束辅助沉积
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